中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171472 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XPは、さまざまな材料を迅速かつ正確に処理できる高度なイオンインプラントおよびモニターです。AMAT Solion XPは、AMATフラッグシップイオンインプランターであるSolion 200の成功に基づいて、処理速度と精度を向上させるとともに、高いレベルの自動化を提供します。アプライドマテリアルズSolion XPは、金属、プラスチック、半導体を含む幅広い材料を処理できます。この装置は、材料の効率的かつ一貫した処理のためのマルチチャンバーコンセプトを利用しています。プロセスの最初のステップは、材料がシステムにロードされるロードチャンバーで行われます。材料は次に充電交換室に輸送され、焦点を当てたイオンビームを使用して材料をオーブンチャンバーに転送します。オーブンチャンバーは、インプラント層を形成するために材料を加熱するために使用されます。インプラント層が形成されると、材料はインプラント室に運ばれ、そこでイオンビームは指示された用量を提供します。このユニットは、プロセス中のインプラント層の線量と厚さを監視します。フィードバックはオンライン表示パネルによって提供され、プロセスレシピは異なった材料および厚さの条件のために調節することができます。Solion XPは高度に自動化されており、ユーザーはネットワーク設定を使用してリモートでデータを入力できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XPは、高分解能エネルギーアナライザを備えたイオン源を備えています。これにより、容易な材料追跡の精度と安定性、およびプロセス結果の改善が可能になります。ビームフォーカスのバリエーションを減らし、均一なインプラントを確保するために、ビームラスタリング装置も利用できます。また、ウェーハシャトル機により、異なるウェーハを簡単に切り替えることができ、高速かつ効率的な処理が可能です。安全性に関しては、AMAT Solion XPは安全ツールを内蔵しています。この資産は、ユーザーとモデルを保護するように設計された電気機械インターロックと電子ロックアウトシステムを利用しています。さらに、APPLIED MATERIALS Solion XPは、低レベルのガス外ガスを満たすようにテストされており、機器のクリーンチャンバーはいくつかの業界標準で認定されています。全体的に、Solion XPは、さまざまなアプリケーションに最適な高度なイオンインプランターとモニターです。AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XPは、高解像度のエネルギーアナライザ、プロセス結果精度の向上、全体的な安全性を備えた信頼性の高い効率的なシステムで、これまでにない制御と性能をユーザーに提供します。