中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum #9187369 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS量子は、半導体業界で使用されるイオンインプラントおよびモニターです。製造工程でイオンを半導体材料に埋め込むことで、望ましい電気特性を実現します。この装置は、イオンを深さ48 cmまで注入することができ、イオン注入、急速な熱アニーリング、ダイヤモンドのようなコーティングなど、さまざまな半導体プロセスに使用できます。AMAT量子は、ホウ素、リン、窒素、酸素などの半導体技術で使用される一般的なイオンのほとんどを埋め込むことができます。それは調節可能なビームエネルギーおよび調節可能なビーム流れを特色にし、0。1から10 MeVまで及ぶエネルギーを電子に与えることができます。インプランターは、最高1000°Cの高温アニーリングプロセスにも対応できます。アプライドマテリアルズQuantumは、注入プロセスを監視するモニターとしても機能します。このシステムは、ビーム電流、ビーム電圧、ビームスポットサイズ、ビームチップサイズなどのパラメータを監視します。また、移植されたイオンを測定するために使用されるマルチチャネル信号取得ユニットを備えています。さらに、イオン充電状態を測定することができ、ユーザーはそれに応じて注入パラメータを調整することができます。量子は非常にユーザーフレンドリーで、2Dビューポートを備えているため、着床プロセスをリアルタイムで観察できます。インプランターは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、操作と監視が簡単です。この機械は最新のデータ収集および分析技術を利用しており、注入プロセスの正確な測定と制御を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantumは、半導体生産プロセスのさまざまなプロセスに使用できる高度で高性能なイオンインプラントおよびモニタです。これは、調整可能なビームエネルギーと電流だけでなく、マルチチャネル信号取得およびモニタリングシステムを提供し、ユーザーが着床プロセス中に最大限の制御と精度を持つことができます。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、操作と監視が簡単です。