中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9181010 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X
販売された
ID: 9181010
ウェーハサイズ: 12"
Implanter, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、世界をリードするイオンインプラントおよびモニター機器です。AMAT Quantum Xは、高度なイオン注入技術と優れたイメージングソリューションを組み合わせ、優れたデバイス性能と信頼性を生み出します。システムの優れたプロセス制御により、一貫した結果が保証され、高度なイメージング機能により、より良い結果を得るための詳細なプロセス監視が可能になります。アプライドマテリアルズQuantum Xは、ヒ素、ホウ素、窒素、リンなどの幅広いイオンを生成する高度で高効率なイオン源を備えています。これらのイオンは、最大16レベルの埋め込みを可能にし、埋め込み時間を短縮し、スループット率の向上とデバイス性能の向上をもたらします。このユニットはまた、着床プロセスの正確な制御を提供する特許取得済みのマルチビームスキャン機を備えています。その高度なRFバイアスとエネルギーデータベースツールは、イオン軌道とビーム電流が着床プロセス全体にわたって動的に最適化されることを保証します。これにより、古いモデルと比較して精度、再現性、およびスループット率が向上します。Quantum Xの統合モニタアセットは、イオン注入プロセスを正確に制御します。高解像度イメージセンサを備えており、注入プロセスのリアルタイム画像を記録し、ビーム電流、エネルギー、パルス幅、およびその他の重要なプロセスパラメータのグラフィカルな表現を簡単に解釈できます。また、ユーザーフレンドリーなグラフのオーバーレイモデルも含まれており、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に分析して最適化し、最適な結果を得ることができます。この機器は、多種多様な外部製品とインターフェースするように設計されており、業界標準の遵守を確実にする多数の安全およびセキュリティ機能が組み込まれています。これにより、AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Xは、研究開発から大規模な生産に至るまで、埋め込みプロセスに不可欠なツールとなります。AMATのAMAT Quantum Xは、優れたデバイス性能と信頼性の高い再現可能な埋め込み結果を可能にする、信頼性の高い高度なイオンインプランターおよびモニタリングシステムです。高度なRFバイアスおよびエネルギーデータベースユニットは、最適なイオンビームパラメータを保証し、統合されたモニタマシンは正確なプロセス制御を提供します。最後に、その安全性とセキュリティ機能は、オペレータの安全性と規制遵守を保証します。
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