中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9194446 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、デバイス製造における最も要求の厳しいアプリケーションのスループットと精度を向上させるために設計された、次世代イオン注入装置です。AMAT Quantum X Plusは、高効率の注入エンジンを使用して、イオン軌道の迅速かつ正確な経験ベースの予測を提供し、高度なデバイスアーキテクチャでのより良い電荷状態分布を可能にします。APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、プロセスチャンバーレベルの信頼性を高め、ゲート幅を小さくすることでより良い結果を得るための高強度を提供することにより、前任者であるQuantumとQuantum IIの成功を基にしています。このシステムは柔軟性と精度を念頭に置いて設計されており、オペレータはプロセスパラメータをさらに最適化し、次世代半導体デバイスの製造における高性能な結果を達成することができます。Quantum X Plusは、高度なデュアルビームユニットを使用し、モノラルエネルギーとチャープビームの両方を使用して、均一な線量率または所望のプロファイルを維持しながら、エネルギーと線量を制御することができます。このマシンは、最大350 KeVのエネルギーで動作することができ、100から2000のµA陽子ビーム電流の範囲を持っています。複雑な線量プロファイルは、最大11の傾斜軸ステップと8つの傾きリターン軸ステップで簡単にツールにプログラムすることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、初期電荷に関係なく、基板の各点でイオンの均一な沈着を保証するための電荷基板バイアセットを備えています。また、クライオジェンフリーの水冷クライオチャンバーを搭載。この高度なチャンバーは、部品のサイズと数の両方を削減し、実際のインプランタチャンバーのための貴重なスペースを節約します。さらに、多軸イオンアシストノズルは、事前定義されたイオンを追加し、強化された制御動作のために設計されています。装置には、洗練されたモニターと制御システムも付属しています。AMAT Quantum X Plusモニターはリアルタイムでデータを収集することができ、ユーザーは最短時間で進捗状況を追跡しトラブルシューティングすることができます。このモニタは、エンドフレーム監視、圧力プロファイル、流体管理などの機能も提供します。アプライドマテリアルズQuantum X Plusにはさまざまなセンサーが搭載されており、発生する前に潜在的な問題を検出することができます。さらに、システムの制御システムは、ウェハマッピングとプロセス最適化のための強力なプロセス制御とソフトウェアを提供します。これらの進歩により、Quantum X Plusはデバイス製造プロセスを改善するための強力で信頼性の高い機器となります。交換とメンテナンスの簡素化により、ダウンタイムを大幅に削減でき、生産性の向上、プロセスの柔軟性の向上、所有コストの削減につながります。これは、デバイス製造のための究極のユニットであり、高度なデバイス製造アプリケーションのための必需品です。