中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9172233 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9172233
ウェーハサイズ: 12"
High current ion implanter system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、半導体デバイスの性能を最適化するために設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。半導体基板のエンジニアリングを支援するために特別に調整されています。AMAT Quantum X Plusには、着床プロセスの優れた性能と制御を可能にする多くの機能が含まれています。この装置には、最大240 keVのエネルギーを実現できる完全集積粒子加速器が搭載されており、高精度のシリコン基板への埋め込みが可能です。さらに、このシステムは、高精度の光学アライメントとキャリアアンロードユニットを統合して設計されており、インプラント性能を最適化するための効率的で正確なコアアライメントを可能にします。この機械はAMAT インプラントSentinel IIツールと統合することができます。このツールは、完璧なアライメントとインプラントを確保するために、さまざまなマスクと高精度と精度を利用することができます。APPLIED MATERIALS Quantum X Plusには高度なUltra-Senseインプラントおよびモニタリング技術も搭載されており、オペレータはすべての重要なインプラント・パラメータをリアルタイムで制御および監視することでデバイスのパフォーマンスを向上させることができます。Quantum X Plusの窒素冷却マグネトロン源は、優れた自動メッシュ加工機能を持ち、業界最高のインプラント角度を提供します。これにより、0。2mmの精密なインプラント角度と非常にチューニング可能なプロファイルにより、イオンビームエネルギーと角度分布の微細な調整が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plusは、シリコンからヒ素ガリウムまでのさまざまな材料に使用でき、他のツールから提供される非常に細かい粒子ドーピングおよび除去用量を提供することができます。AMAT Quantum X Plusは、優れたデバイス性能と制御を提供するために設計された完全なツールです。このアセットには、イオンビームプロファイルとフラックス監視機能を備えた強力なビーム制御モデルが含まれています。さらに、APPLIED MATERIALTS Quantum X Plusには、リアルタイムプロセスモニタリング、イオンビーム電力およびビーム位置制御、明示的なインプラント速度チューニング、ビーム変調機能など、いくつかの機能が含まれています。これらの機能は、装置がインプラント工程を自動化し、高品質のインプラントを確保し、納期を短縮するのに役立ちます。Quantum X Plusは、強力で汎用性の高いイオンインプラントおよびモニタツールです。このシステムは、パーティクルアクセラレータ、精密光学アライメント、および高度なUltra-Senseインプラントおよびモニタリング技術により、最適な半導体デバイス性能を生み出すように設計されています。オペレータは、より正確で信頼性の高い埋め込みのために様々なインプラントのパラメータを制御および監視することができ、シリコンやヒ素ガリウムなどのさまざまな材料への埋め込みが可能です。優れたデバイス性能とインプラント工程の制御を求めるエンジニアに最適です。
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