中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9202423 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xRは、商業、半導体、研究開発用途向けに設計された高性能イオンインプラントおよびモニター装置です。強力なハイエンドイオン蒸着システムと、均一な材料層を確保するためのリアルタイム非接触イオンモニターが含まれています。このユニットは、あらゆる用途に適した幅広いインプラントガスタイプとエネルギーレベルをサポートしています。AKT 9500xRには、最大12本のビームラインを備えたマルチエネルギービームラインと、複数のインプラント層を可能にする2つの独立したグリッドが装備されています。グリッドは、ウェーハ表面に均一で同時に埋め込むことができます。インプラントのガス種とエネルギーレベルは、所望の結果に応じて調整可能です。パルス幅は、特定のプロセス要件に合わせて調整することもできます。AMAT 9500xRは、迅速で均一なインプラントと層の形成のために、最先端のデジタル制御イオンモニターを備えています。モニターはサンプル表面のイオンの量を絶えず測定し、線量ができるだけ均一であることを保障します。モニターは、複数の基板にわたって均一な埋め込みを自動化するためにも使用されます。9500xRは、プロセスパラメータを正確に制御できるように設計されており、ユーザーはすべての重要なプロセスステップを正確に設定および制御できます。LCDディスプレイとオプションのタッチスクリーン技術を備えた高度なユーザーインターフェイスを備えています。このインターフェースは、真空レベル、基板温度、イオンモニター読み出しなどの関連条件を表示するようにプログラムすることができます。応用材料9500xRは一貫した、反復可能なプロセス結果を提供するように設計されています。また、自動化されたプロセスレコーダーモジュールと、複数のレシピを保存し、正確なプロセスを繰り返すために使用できるオプションのジョブリストマシンを備えています。センサーやガスフィードなどのアクセサリを追加することで、お客様の特定の要件に合わせてツールをカスタマイズすることも可能です。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xRはAKTのテクニカルサポートおよびカスタマーサービスによって支えられます。