中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9181417 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 9500は、製造プロセスおよびイオン注入研究で使用されるイオンインプラントおよびモニターです。注入された材料の望ましい線量の均等性を達成するために調節することができる制御変数の広い範囲を提供する多目的な機械です。それに例外的な注入のプロフィールを提供できる二重源、高密度源があります。ソースは、最適化された埋め込みのために、定常状態、段階的、またはアーク動作で移動するように命令することができます。AMAT 9500は低出力動作と高出力動作の両方を提供し、速度と効率を向上させます。アプライドマテリアルズ9500のユニークな特徴は、応答性のあるリアルタイム角制御システムです。このシステムは、高度なモータ駆動と高分解能ポジションセンサーを使用して、1ステップにつき最大3°の高角度でソース角度を正確かつ迅速に調整します。これにより、ユーザーはウェーハの領域をターゲットにしたり、用量を調整したり、パラメーターの変更に応答したりすることができます。9500は高精度のイオンモニターも備えています。ソースチャンバーに組み込まれているこのデバイスは、イオンの容積と電流に近づいて出発する測定と追跡を行い、インプランタがパフォーマンスをフィードバックします。これにより、ユーザーは目的のインプラント効果に合わせて設定を調整し、最良の結果を確実にすることができます。マシンはまた、高度な安全機能を提供しています。これには、セルフロックドア、内蔵のキャビネットシールド、および緊急シャットオフスイッチが含まれます。これは、ユーザーが放射線やその他の危険から安全に保つのに役立ちます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS 9500は強力で汎用性が高く信頼性の高いイオンインプラントおよびモニターです。それは精密および正確さを保障するために制御変数、角制御システムおよび作り付けのモニターの広い範囲を提供します。また、高度な安全機能を備えており、イオン注入プロセスにとって安全で効果的な選択肢となっています。