中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9092919 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIRは、サブミクロンの特徴サイズの高度なプロセスおよび反応イオンエッチング（RIE）用に設計された高真空ドライエッチング装置です。深度0。01mmまで、精度0。1mmまでのエッチングが可能です。ADIXENのGIRの単位はまた4つのガスラインが付いているガス配達機械を特色にしますO2/CHF3およびAr/Cl2のような異なったプロセス組合せを可能にします。ALCATEL GIRツールには、真空チャンバー、挿入装置、コントローラーユニット、ポンプステーションが含まれています。チャンバーには少なくとも1つのターボポンプと1つのロータリーベーンバッキングポンプが装備されており、必要な真空レベルは10〜6 mbarです。高性能プロセスポンプとターボ分子ポンプ資産は、プロセス全体で均一で安定したガスの流れを保証します。挿入装置は、サンプルを安全にチャンバーに配置することができ、真空チャンバーの汚染を避けるように設計されています。プロセスガスはコントローラを介して流れ、それぞれのガスの流量を結合して特徴付けます。その後、プロセスガスを注入バルブに送り、プロセスチャンバーへの均一なガス分配を可能にします。GIRモデルは、温度、圧力、可視性などの必要なすべてのパラメータを監視するスマートプロセス制御を備えています。この機器は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、さまざまなエッチレシピでプログラムすることができます。さらに、PFEIFFER GIRには、エッチングプロセスパラメータを最適化するために20ワットのin-situ RF電力を供給できる可変周波数RF発電機と、精密な計測および位置決めのための3Dスキャナが含まれています。最後に、ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIRエッチングシステムには、安全な動作環境を確保するための高度な安全プログラムが含まれています。このユニットには、自動シャットオフ機能を備えた温度過剰限界検出器が内蔵されており、安全関連機能の追加アラームを提供します。ADIXEN GIRには、内部の炎検出器も含まれています。要約すると、ALCATEL GIRはサブミクロンのフィーチャーサイズのエッチング用に設計された高度で高性能なエッチング機です。複数のガスラインを備えており、正確で安全なエッチング処理のためのインテリジェントなプロセス制御を提供します。