中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9123425 を販売中

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ID: 9123425
ヴィンテージ: 2008
Etcher (1) Chamber Process: Deep silicon bosch SF6, C4F8, O2, Ar, N2, He, CHF3 Brooks platform Dual loadlocks Magnatron 7 ALCATEL ACT 600M TMP User interface PC Transfer PC Process chamber: AMS X200 ALCATEL ACT 1300M TMP Process gases: SF6 1000sccm C4F8 400sccm O2 100sccm O2 800sccm Ar 200sccm N2 1000sccm Ar CHF3 EDM CS200-11729 200 / 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz ALCATEL AMS X200 (2) SEMCO HV52000C SEREN L301 RF Advanced energy dressler cesar RF ENI Spectrum B-3013 RF 200/208VAC, 3 Phase, 50/60Hz 2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200は、大規模な工業生産のニーズを満たすように設計されたハイテクエッチャー/アッシャーです。この精密かつ完全に自動化された装置は、サンプルおよび基板をエッチングおよびアッシングするための正確で反復可能なプロセスを保証します。高真空フィルターユニットを内蔵し、エッチングやアッシング時の清潔感を確保しています。この濾過機は、ガスの流れから最も一般的な汚染物質を除去し、サンプルの汚染を防ぐのに役立ちます。さらに、自動化されたプロセスは、化学物質への暴露の有害な影響からオペレータを保護するように設計されています。ADIXEN AMS 4200は、高度な技術を使用して高品質のエッチング/灰プロセスを保証します。内蔵のマルチゾーン温度制御技術により、処理チャンバとガスの流れの両方で正確な温度制御が保証されます。これにより、正確で繰り返し可能なエッチング/灰の結果が得られます。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)は、ツールを使いやすくします。ALCATEL AMS 4200は、ユーザーフレンドリーで直感的なインターフェイスを提供し、エッチング/灰プロセスに関連するすべてのパラメータの明確な概要を提供します。この資産には、さまざまな安全機能が装備されています。例えば、内蔵の緊急停止機構により、安全上の問題が発生した場合に即座にプロセスを停止することができます。全体として、PFEIFFER AMS 4200はトップオブラインのエッチャー/アッシャーです。その精度、オートメーション、安全機能により、大規模な工業生産に最適です。ユーザーフレンドリーなGUIと堅牢な安全機能により、安全で使いやすく、エッチングやアッシングに便利な製品です。
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