中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9200581 を販売中

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ID: 9200581
I-Speeder DRIE of Si, SiO2, SiN Atmospheric robot Mechanical clamp.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200は超高精度自動エッチャー/アッシャーです。エッチングされた表面の広い範囲にきれいで、信頼できるエッチング結果を提供するように設計されています。ADIXEN AMS 200は、従来の手動エッチング方法に代わる信頼性と費用対効果の高い代替品です。ALCATEL AMS 200は、直感的な操作と包括的なプロセス制御を備えた多目的でユーザーフレンドリーなコントロールパネルを備えています。これにより、チャンバー圧力、プロセス時間、ガスフローなど、エッチングプロセスを定義するいくつかのパラメータから選択できます。コントロールパネルはリアルタイムでプロセスパラメータを監視するため、プロセスを調整して最適な結果を得ることができます。PFEIFFER AMS 200は、独自の内部デザインの石英チャンバーを使用して、薄くて厚いサンプルに均一なエッチングを提供します。石英チャンバーには楕円断面があり、均一なエッチングのためのより良い熱伝達を可能にします。また、複数の抵抗加熱素子を使用したガス配分装置を採用し、均一な熱配分を確保してエッチングを向上させています。AMS 200には、サンプルの避難とサンプル移動のための2つの真空ポンプもあります。真空ポンプは絶縁されているため、サンプルを個別に加熱して相互汚染を防ぐことができます。これにより、チャンバー内に存在するエッチングガスだけでエッチングを制御することができ、より詳細なエッチング面が得られます。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200の温度制御は精密で、600°Cの最高温度まで10秒の増加で調節することができます。それはまた部屋内の精密な温度調整を保障する上限の冷却装置を含んでいます。さらに、排気ユニットは真空ポンプで設計されており、排気の必要性を排除し、プロセスをより効率的にします。全体として、ADIXEN AMS 200は、幅広いエッチング面に対して信頼性が高く、費用対効果が高く、信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。直感的なコントロールパネルと包括的なプロセスコントロールにより、エッチパラメータを簡単に調整して最適な結果を得ることができます。高度なクォーツチャンバーと真空ポンプ、強力な温度制御および冷却機は、メンテナンスを最小限に抑えながら正確で均一なエッチングを保証します。
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