中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9173294 を販売中

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ID: 9173294
I- Speeder ESC with N2 liquid cooling SiO2 thin film etching, SiN, Si-DRIE, Pt sputter etching Manual load No atmospheric robot.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200エッチャー/アッシャーは、基板にエッチングまたはアッシュするために使用される精密ツールです。ADIXEN AMS 200は、プリアラインとエッジの配置、エッチング、アッシング技術を組み合わせた完全自動化システムです。これは、比類のない精度と再現性を備えたエッチングまたはアッシングのための完全に統合されたソリューションです。ALCATEL AMS 200には500ワットのジェネレータと、25〜60 mmの基板配置精度を実現する70 mmの基板ヘッドが装備されています。基板ヘッドは、正確な基板配置とアライメントを確保するための精密コントローラであるSigma 5 PiezoMotorによって駆動されます。これにより、さまざまな基板にわたって正確さと一貫性を確保します。PFEIFFER AMS 200には、各サブストレートをあらかじめ設定された開始点またはプログラムされた開始点に整列させる自動事前整列機能があります。さらに、タイトな公差を確保するために、プレアラインソフトウェアは基板ヘッドを、通常は0。6mm以内に、定義されたタイトな間隔に配置します。AMS 200は高精度600ワットフォーカスレンズも備えており、エッチングまたはアッシングに非常に均一なガウス型ビームプロファイルを提供します。レンズはまた、さまざまな基板のサイズや材料に合わせて様々な焦点距離を可能にします。さらに、レンズの垂直方向の高さと角度を基板の高さに合わせて調整することができます。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200には、基板の損傷を軽減し、迅速なターンアラウンドを可能にするさまざまな機能も含まれています。機械は半自動モードで動作します。つまり、オペレータはアッシングまたはエッチングサイクル中にエッチャーを操作できます。さらに、基板ヘッドに断熱シールドを内蔵し、温度変動を低減し、加工時の損傷を低減します。要約すると、ADIXEN AMS 200は、さまざまな表面にエッチングまたはアッシングするための信頼性の高い正確なシステムをユーザーに提供します。プリアラインとエッジ配置、エッチングとアッシング技術、高精度フォーカスレンズなどの機能を組み合わせています。これにより、ALCATEL AMS 200は、精密エッチングまたはアッシング用途に強い選択肢となります。
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