中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9144193 を販売中

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ID: 9144193
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
Dry etcher, 6" Volume production Includes pumps Cleanroom class: ISO 6 (LF ISO4) (2) Chamber system with transfer chamber (1) Dielectric-etch: CCP Coupled 13, 56 Mhz Mask open etch and strip (1) Deep temperature silicon etch chamber With an ESC Cassette to Cassette Two etch chambers: Kryo: Deep silicon Harmask open Running Sf6 at a very low temperature Currently installed and stored in cleanroom 1995 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602Eは最先端のエッチャー/アッシャー機械であり、時間と労力を最小限に抑えた精密なエッチングとアッシング材料が可能です。ADIXEN 602Eは、エッチングとアッシングのプロセスをこれまで以上に簡単にする便利な機能を備えた信頼性の高い強力なマシンであるように設計されています。ALCATEL 602Eは、高解像度水晶制御システムと異なる形状とサイズの電極の選択を備えています。これにより、ガラス、セラミック、金属などのさまざまな材料で高精度のエッチングとアッシングが可能になります。PFEIFFER 602Eは、異なる材料を同時にエッチングして灰を出すこともでき、時間と労力を節約することができます。602Eは、オペレータの疲労を最小限に抑える人間工学に基づいたデザインで、幅広い調整可能な設定とオプションを提供します。また、シンプルなユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスと正確なデジタルディスプレイを備えているため、オペレータはエッチングとアッシング操作の進行状況を簡単に監視できます。さらに、ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602Eには、オペレータや材料の安全性を確保するための安全機能があります。ADIXEN 602Eには、エッチングおよびアッシングプロセスの包括的な制御と監視を提供する洗練されたPLCシステムが装備されています。これにより、高い生産性を維持しながら、優れた精度と均一な結果を得ることができます。ALCATEL 602Eは耐久の鉄骨フレームおよび防蝕部品と組み立てられ、要求の厳しい、連続的な使用に理想的です。全体として、PFEIFFER 602Eは非常に強力なエッチャー/アッシャーで、正確で均一な結果を簡単に提供できます。それは調節可能な選択および安全特徴の範囲の信頼でき、有効な操作のために、設計されています。高解像度の水晶制御システムと包括的なPLC制御により、602Eは幅広い素材を素早く正確にエッチングおよびアッシングするのに最適です。
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