中古 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #184115 を販売中

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601Eは先端技術部品の生産のために設計されている高精度のエッチャー/アッシャーです。エッチャーは、0°から+800°Cの温度範囲、0 mbarから1000 mbarの圧力範囲、および1x10-4 mbarの最大真空レベルの真空処理チャンバを備えています。ADIXEN 601Eにはプラズマ源が搭載されており、誘電体・金属薄膜のエッチングやアッシングに非常に高い精度で使用できます。エッチャーは、圧力、温度、RF電力、RF/DCバイアス電力などのプラズマ源とチャンバーパラメータの精密制御を提供します。組み込みのプログラム可能性はまたユーザーが望ましい結果を達成するためにetch/ashプロセスをカスタマイズすることを可能にします。ALCATEL 601E etcherの人間工学に基づいた設計により、簡単な操作と生産環境への統合が可能です。PFEIFFER 601Eは、エッチング/灰プロセスと互換性のある現場洗浄機能を提供します。これにより、ウェーハ間のチャンバー洗浄に要する時間を短縮し、より効率的なプロセスを実現します。さらに、エッチャーには、危険なレベルのRF放射からユーザーを保護する高度な安全システムが装備されています。601Eエッチャーは、誘電性エッチング/アッシング、金属/誘電性エッチングおよびアッシング、ハードマスクのエッチングおよびアッシング、酸化ケイ素エッチング/アッシングなど、さまざまなエッチング/アッシングプロセスに最適です。150mmと200mmの両方のウェーハを加工することが可能で、高精度なエッチング・アッシュが可能です。高度なエッチングとアッシングプロセス、人間工学に基づいた設計と安全機能の組み合わせにより、ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601Eハイテク部品の生産に最適です。