中古 AGS LC-RIEL-HT #9182875 を販売中

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ID: 9182875
ウェーハサイズ: 8"
Reactive ion etcher, 8" Assembly: Console Chamber Electrode, RIE10 with He BSC Vacuum, HT / CVG / TP4 Pressure control Plasma source, RF6 Power Interlocks Harness with serial IO Facilities Controller IG TCUX, 10-50C Toxic gas pod (4) 3x100sccm, 1x20sccm, MFC (Standard) (2) Toxics, MFC Loadlock Lifter Wafer clamp Wall heater Platen / Graphite Lecture bottle stick: (2) HBr, BCl3.
AGS LC-RIEL-HTは、ハイスループット、低コストの生産アプリケーション向けに特別に設計された精密スピードエッチャー/アッシャーです。金属、プラスチック、ガラス、セラミックスなど多種多様な基板から素材を素早く効率よく除去するように設計されています。LC-RIEL-HTは、低コストで生産性の高いソリューションです。AGS LC-RIEL-HTは、パルスプラズマエネルギーの最大250Wのパワー定格を備えており、精密な制御を行うため、エッチングにおいて高精度・高速が要求されるアプリケーションに最適です。プラズマチャンバーの設計により、一貫した結果を得るための均一な速度エッチングが保証され、基板の不均一なエッチングまたはバーンスルーのリスクが低減されます。この装置の低い維持の設計はまた維持の時間そしてお金を節約します。LC-RIEL-HTは非常に汎用性が高く、リアクティブイオンエッチング(RIE)、ディープリアクティブイオンエッチング(DRIE)、ウェットエッチング、蒸気相エッチング(VPE)、化学機械研磨(CMP)、イオンビームミリング(CMP)など、幅広い材料およびプロセスに使用できます。それはまた異なった材料のためのいろいろな化学エッチングの解決と互換性があります。また、過熱や停電防止などの高度な安全機能を備えており、安全な動作を確保しています。チャンバーは、低い動作圧力を維持し、優れた真空性能と汚染制御を提供するように設計されています。エッチングユニットには、オペレータを保護するための外部安全スイッチと、発熱反応警告があります。AGS LC-RIEL-HTは、強力で使いやすいコントロールパネルを備えています。この耐久性のあるマシンは、理解しやすいメニューオプションと迅速かつ正確なエッチングのためのパラメータを設定するタッチスクリーンパネルが含まれています。様々な基板サイズに対応しており、積み降ろしの柔軟性を実現しています。さらに、このツールは簡単なクリーニングとメンテナンスのための取り外し可能なチャンバーで設計されています。LC-RIEL-HTは、正確なスピードエッチングを必要とする幅広い生産アプリケーション向けの信頼性と費用対効果の高いエッチングソリューションです。高速かつ正確なエッチング、高スループット、低コスト動作を提供します。操作とメンテナンスが簡単で、運用の安全性を確保するための高度な安全機能を備えています。
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