中古 ADVANCED ENERGY FTMS #9158680 を販売中

ADVANCED ENERGY FTMSは、幅広い半導体エッチングおよびアッシャー製造プロセス向けに特別に設計された高度なエッチングおよびアッシャーユニットです。複雑な半導体構造の高精度・高速エッチング・アッシャー操作が容易に行えます。この装置は、ハイスループットエッチングやアシェリング、低電力動作、堅牢な制御システムなど、さまざまな機能を備えています。FTMSは、高解像度のイメージングユニットと高度な機能の範囲を備えています。イメージングマシンは、プロセスの詳細をナノメートルレベルまで解決し、精密なエッチングとアッシング操作を可能にします。このユニットには、高度なウェーハのローディングとアンローディングツールがあり、ユニットからプロセスチャンバーに自動的にウェーハを輸送することができます。これにより、各プロセスステップが最小限の汚染で実行されるようになります。このユニットには、エッチングとアッシングのプロセスを制御する高度な流動管理資産もあります。このモデルは、プロセスが最大限の効率で実行されることを保証するために、圧力、温度、エッチング時間などのパラメータのセットでプログラムされています。この装置は、排ガス、リアクタントなどのプロセス流体の流れを制御することもできます。ADVANCED ENERGY FTMSは、ユーザーが簡単にユニットを設定、設定、および操作することができる高度な制御システムを備えています。このユニットはプロセスパラメータをリアルタイムに表示することができ、エッチングとアッシングプロセスを素早く調整できます。これにより、パラメータのチューニングに要する時間を短縮し、目的の結果を得ることができます。高度な機能に加えて、ADVANCED ENERGY ETMSはまた、アクセサリーの広い範囲を提供しています。これらには、洗練されたエッチングとアッシングのヒント、ポリッシャー、ブラシ、およびその他のさまざまなプロセス固有の消耗品が含まれます。これにより、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセスをカスタマイズし、パフォーマンスを最大化することができます。全体として、FTMSは高度な半導体アプリケーション向けに特別に設計された高度なエッチングおよびアッシャーユニットです。その優れたイメージングマシン、高度な流動管理ツール、およびアクセサリーの幅広い選択は、高精度、迅速なエッチングとアッシングを実現するための理想的な選択肢です。