中古 ADIXEN AMS 110 #9200290 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9200290
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2007
DRIE Etcher, 4"-6"
ICP Etching system for silicon
Includes:
Vacuum pumps, chiller
Process chamber:
Bosch licence
Substrate holder in ESC finger clamping version+LAUDA Chiller type RK8CP
Wafer centering kit
Source power supply: 3 kW RF
Bias power supply: 300 W LF
Chamber primary pump: ADIXEN Dry pump (ADP 122)
Chamber maglev turbo molecular pump: ADIXEN ATH 1600 MT
DN 200 Throttle valve VAT 61 series
Gas lines:
SF6/1000 sccm
C4F8/400 sccm
O2/200 sccm
Load-lock:
Single wafer manual vacuum load lock including:
One cover (Aluminium and plexiglass)
Manual wafer transfer arm: Load-lock and process chamber
Control module:
Allen bradley PLC and industrial PC with its UPS
User interface: Windows 2000
Separate electrical cabinet including main control panel
RF/LF generators and PLC
AMS 100 system is delivered with 10m cable:
Electrical cabinet
Process module
Documentation:
Users / Maintenance manual on CD-ROM and PC hard disk
Electrical schematics on standard paper
Components manual on CD-ROM
Options:
Basic structure:
Heated liner installed in source chamber
Automatic load lock
Pumping station: Heated valve VAT 65 series and by-pass valve
End point detection:
Digilem 200: IR (905nm) Camera
Substrate holder 100 mm kit: 4" Additional ESC pin
2007 vintage.
ADIXEN AMS 110エッチャー/アッシャーは、幅広いエッチングおよびアッシング用途向けに設計された高度な熱処理システムです。これは、ガス供給、温度制御、および物理飛行能力の高性能な組み合わせを備えているため、最も困難なエッチングおよびアッシングプロセスに最適なツールです。AMS 110は、高度な高性能イナートガスノズルと温度制御により、高速かつ再現性のある処理で優れたエッチングおよびアッシング結果を提供します。エッチャー/アッシャーのモジュール設計により、ユーザーの特定のニーズに基づいた幅広い構成が可能です。このシステムは、最大4つの独立したガス制御チャネルを提供し、複数のガスを同時に処理することができます。各チャネルには独立したフローと温度制御が提供され、ユーザーはプロセス結果を最適化できます。さらに、複数のターゲットを同時に処理することができ、複数のユーザーが並列に多くの類似部品または多くの異なる部品を処理することができます。ADIXEN AMS 110によって利用された革新的な物理飛行技術は、プラズマを形成し、ターゲットを均等にカバーするのに役立ち、処理の均一性と再現性をもたらします。エッチャー/アッシャーには、高精度を必要とするエッチングおよびアッシング用途向けのオプションの高電流（最大100アンペア）ICP電源も装備しています。ユーザーフレンドリーなインターフェースは、簡単なセットアップのための直感的でグラフィカルなプログラミングインターフェイスでエッチャー/アッシャーを正確に制御します。AMS 110のソフトウェアには、プロセス監視、自動ガス交換、レシピベースの生産などの高度な機能も含まれています。ユーザーは複数の階層ユーザーレベルを設定することもでき、各ユーザーに必要な特定の機能へのアクセス権を与えることができます。全体として、ADIXEN AMS 110 etcher/asherは、複数のユーザーの幅広いニーズに対応しながら、高性能で反復可能なエッチングとアッシングの結果を提供するために設計された革新的なシステムです。温度制御、ガス供給、および物理飛行能力の組み合わせにより、最も困難なエッチングおよびアッシングプロセスに理想的なツールとなります。
まだレビューはありません