中古 ASM A 412 #9170221 を販売中

ASM A 412は、半導体製造用の拡散炉およびアクセサリです。これは、ウェーハへのドーパントの拡散のために設計されています。この装置は、効率的で安全で再現性のある処理を保証するために、幅広い機能を備えています。炉の部屋は良質材料から成り、プロセス周期の間に汚染から保護するために水晶管を、含んでいます。それは4地帯、一定した温度の垂直暖房システムによって熱されます。4つの高精度ヒーターカートリッジは独立したPIDコントローラによって制御され、再現可能な温度精度（± 0。01°C）を保証します。また、均一な等温処理のための冷却された上部プラテンが装備されています。ASM A412は、パワフルで自動化されたエンドポイント検出器を備えており、正確なエンドポイント検出を保証し、完成品の潜在的な欠陥を排除します。また、サーボモータを備えた自動リフタープラットフォームを備えており、ウェーハの一貫した積み降ろしを保証します。電子制御パネルは、操作パラメータと安全性に関するすべての必要な情報を提供し、プロセスを完全に簡単かつ直感的にします。412には頑丈な真空ユニットも含まれています。拡散チャンバ内の部分的な圧力を低く維持することができ、正確かつ再現可能な拡散プロセスを可能にします。炉の付属品は自動化されたプレビュー機械、冷却および出口用具、および不活性パージ資産を含んでいます。これらの部品は、炉の適切かつ効率的な動作を保証します。A412は、優れたウェーハの均一性と歩留まりを提供するために構築されています。その洗練された設計と技術は、高性能の半導体製造プロセスに最適です。豊富な機能、正確で信頼性の高いパフォーマンス、簡単なメンテナンスにより、拡散プロセスに最適なツールです。