中古 ASM A 412 #9185404 を販売中
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販売された
ID: 9185404
ウェーハサイズ: 12"
Vertical furnaces, 12"
Dual reactors cure VDF: CU, PI
WIP Module:
Part number / Description
2945169-01 / Main frame WIP assembly
2379589-01 / Elevator chr
2947641-01 / Cassette stacker carousel
2944170-01 / Cassette transfer module
2947692-01 / Load port
2403641-01 / Pneumatic box
2947617-01 / WIP Flow box
Reactor module (Base model info):
Part number / Description
2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly
2916177-01 / Reactor A412 top frame
2931303-01 / Reactor servo drive
2370387-01 / Reactor EMO / Motion
2931257-01 / BTC Box
2373718-01 / WTC Box
2909251-01 / R1 / R2 Controllers
2936550-01 / Reactor touchscreen
2327287-01 / Carousel bearing
2329999-01 / Carousel housing
2931222-01 / Carousel drive
2931109-01 / Reactor carousel
2379872-01 / Reactor fan
2936739-01 / A412 Gate valve
2997320-01 / Boat elevator A412
2972786-01 / Loader arm LP ROT
2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN
2366460-01 / N2 Purge generic
2330768-01 / TCU / TCF Generic
2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412
Miscellaneous:
Part number / Description
2895587-01 / (2) End effectors 242 CER
2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly
2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC
2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC
2888025-01 / Transponder
2356341-01 / Press sens WHR single
2356333-01 / Press sens RC car
Reactor chambers 1-2:
Part number / Description
2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit
2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit
2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS
2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm
2805847-01 / Thermocouples ATM BC
2954664-01 / Mount block FLG'S
2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK
2806096-01 / ATM Scavenger purge
2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit
2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2
2996235-01 / Klixon heater element
2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT
2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V
2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412
2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V
2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2
2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2
2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300
2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2
2332108-01 / Pump TCU
2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
ASM A 412は、均一な熱拡散基板および関連部品に設計された高度な熱処理ツールです。それは± 3°Cの印象的な熱勾配と直径の6インチまでの基質を処理できます。熱は独立したエネルギー制御システムによって作動する長い生命管状の発熱体によって発生します。前処理加熱、均一浸漬、曲線追従加熱、冷却率制御などの熱処理機能を備えています。本装置は真空切断機能を備えており、拡散前に基板表面から空気などのガスを除去するために炉を避難させることができます。拡散プロセスは、加熱素子が通電されると発生し、炉の温度が必要なセットポイントに上昇します。基板はホットゾーンに配置され、拡散プロセスを促進します。このユニットは、素早く簡単に基板へのアクセスを可能にする垂直荷重設計と、炉全体の均一な温度勾配を備えています。また、加熱チャンバーと統合された空冷システムを備えているため、拡散時間を大幅に短縮できます。さらに、このユニットには高度なグラファイトヒーターが含まれており、必要な温度の均一性を維持するのに役立ちます。最適な安全レベルを確保するために、ユニットには緊急スイッチもあります。ASM A412拡散機は、さまざまな拡散手順に使用できる、使いやすい信頼性の高いツールです。その柔軟性は、高速で信頼性の高い高性能な熱処理アセットを必要とする人に最適です。特徴の組合せはそれを拡散の処理ビジネスのそれらのための大きい選択にする大きい結果を保障します。
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