中古 ASM A 412 #9176796 を販売中

ASM A 412拡散炉は、高度な拡散結合およびエピタキシャル成長技術のための強力で信頼性の高いツールです。半導体デバイス製造、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）デバイス、高度なプロセスデバイス技術、高度なパッケージングなど、さまざまな用途に適しています。ASM A412拡散炉には、水平配列、クアッドゾーン、定常状態、真空制御垂直炉、4ゾーン、3000 W多結晶熱板、およびウェーハ安定化機構が装備されています。ウェーハ安定化メカニズムは、拡散炉の主な利点の1つであるウェーハ温度の高い均一性を保証します。炉の温度較差は室温から1200°Cにあります。温度の安定性は0。1°Cの内で維持することができ温度の均等性は通常0。5°C。よりよいです。炉には、さまざまな機能やアクセサリーが付属しています。例えば、ポンプ速度を向上させ、拡散プロセスの前に1E-4 Torrまでの真空を確立する時間を短縮するターボポンプと、プロセス中の圧力とガスの流れを正確に制御できるガス開口部と排気ポートを備えています。また、スパッタエッチング効果を低減する独自の反転機構を備えています。エンドプレートは直径8インチまでのサンプルサイズに対応できます。さらに、その底部金属加熱素子と低温エピタキシャル成長および酸化、特定の伝導パターン沈着、放射硬化および急速な熱アニーリング、およびレーザー支援金属パターニングを実行する能力を活用することにより、幅広い用途を提供しています。全体として、A 412拡散炉は高度な拡散結合およびエピタキシャル成長技術に最適です。温度と均一性を制御しやすく、堅牢で信頼性の高い設計、および幅広い機能とアクセサリーにより、さまざまなアプリケーションに最適です。