中古 ASM A 412 #9176795 を販売中

ASM A 412は、半導体結晶成長アプリケーション用に設計された拡散炉およびアクセサリです。この炉には、高度な自動制御型の拡散源装置が装備されており、拡散速度と温度を正確に制御できます。拡散炉には、均一な加熱システムと剛性のあるボディデザインを備えたハイトレランスチャンバーも備えています。この炉は、拡散プロセス全体にわたって均一な拡散結果を提供することができます。ユニフォーム加熱ユニットは、チャンバー温度とガス流量がプロセス全体で一貫していることを保証します。拡散炉はまた、汚染およびオペレータ誤差の可能性を低減するためにプログラム可能なマルチゾーン保護機を備えています。この炉は、ウェーハの負荷とアンロードのための迅速な応答時間を持ち、ユーザーに迅速な納期を提供します。急速な拡散プロセスはまた拡散プロセスからの損失を減らし、プロダクト収量を改善できます。さらに、ASM A412拡散炉のユニークな設計は、金や浸炭汚染を防ぐことができます。この炉は、冷間および高温動作の両方に使用できる多機能真空チャンバーを使用しています。この機能は、材料の層を堆積させたり、基板上の複数層システムを製造するために特に有用です。さらに、真空チャンバーは、迅速な避難と急速な圧力変化を可能にするように設計されています。炉はまた異なった適用に適するためにいろいろ入出力構成を特色にします。これは、ガスの流れと温度を制御するための複数のポートだけでなく、トラブルシューティングと制御のための指標とアラームの数を持っています。これにより、ユーザーは手順を調整し、ツールのステータスを確認し、プロセスをより迅速に選択することができます。さらに、A 412炉には、拡散プロセスを効率的に制御および監視するためのサンプルホルダー、シャッター、熱電対などの幅広いアクセサリーが含まれています。この炉には、熱ヒューズ、水冷、コンビネーションインジケータ/インターロックスイッチなど、さまざまな追加の安全機能が含まれています。全体として、A412拡散炉とアクセサリは、半導体の結晶成長アプリケーションに信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供します。この炉は、安全で効率的な作業環境を促進しながら、均一で反復可能な結果を提供することができます。