中古 ASM A 412 #9176794 を販売中

ASM A 412は、高性能ウエハレベル材料用に設計された拡散炉およびアクセサリーです。特に、高温超伝導体、MEMSデバイス、MEMSセンサ、薄膜トランジスタなどの薄膜の迅速な成膜が必要な用途に適しています。最大温度は1350°Cで、高温処理が可能です。それは、炉のフード、ソース材料、アンプルのための様々なオプションで、構成することは簡単です。ASM A412炉は、ポータブルローリングカートまたはコンパクトウォールマウントを含むスタンドに取り付けられています。これは、アラームシステムや炉温度が範囲外になると自動停止など、さまざまな自動安全機能を備えています。炉はステンレス鋼のフードによって保護され、大気の精密な制御を可能にし、ガス漏出を防ぎます。ユニットは、最大7つの独立したセットポイントで大気圧を制御するようにプログラムすることができ、マシンはまた、トラブルシューティングとメンテナンスを容易にするための診断機能のセットを組み込むことができます。炉は複数の付属品とカスタマイズすることができます。マルチセグメントウェーハホルダー、アンプルとアンプルのホルダー、特殊素材などがあります。炭化ケイ素マッフルは、最大50°C/秒の調節可能な加熱速度で、ウェーハの急速な熱処理を可能にします。このツールには、ガス流量を正確に制御することができる二原子大気インジェクタが含まれています。これにより、ウェーハの急速な加熱と冷却が可能になります。この炉には、熱電対アセット、電子圧力計、真空ポンプなど、さまざまな補助装置も含まれています。一体型の熱電対モデルは、発煙排気を正確に制御することができ、炉とウエハの温度を監視するために使用することができます。圧力計は、異なる処理段階の大気圧力を正確に制御することができ、真空ポンプは、チャンバー内の高真空のメンテナンスを可能にします。要約すると、A 412拡散炉とアクセサリーは、ウェーハレベル材料の効率的かつ安全な堆積のために設計されています。この装置は、ウェーハの熱処理を簡素化および最適化するために、幅広い自動安全機能、調整可能な大気圧、および補助装置を備えています。