中古 ASM A 412 #9137395 を販売中

ASM A 412は、半導体生産などの産業用途に使用される拡散炉です。それは適用範囲が広い生産およびより高いスループットのためのマルチゾーン設計の400mmの縦の炉です。また、省エネ技術と熱均質性の向上を特長としています。炉の温度範囲は250°C〜1250°Cで、発熱体は高温合金でできています。この炉には、プロセスの再現性と信頼性の高い操作のためのフルオートメーションも装備されています。ASM A412の主な部分は、ベッドプレート、入口および出口システム、ボディ、蓋、および発熱体の電源です。ベッドプレートは炉の基盤であり、最高の耐久性のための高級なアルミ合金から成っています。入口および出口システムは基質の暖房の最高の均等性のために設計されています。炉の本体は、セラミック繊維製の断熱材とステンレス製の外板で二重壁になっています。ふたはステンレス鋼から成り、2つの眺めの港および補強された持ち上がるハンドルが付いている堅く密封されたエンクロージャを特色にします。A 412の発熱体は、粉体塗装された炭化ケイ素ロッドで構成されています。エレメントは、調整可能で安定した低電圧DC電源を使用して正確な制御を行います。電源は、内蔵の安全規制により電圧および電流サージから保護され、リモートで制御することができます。A412には、プロセスを自動化するためのさまざまなアクセサリーが付属しています。アクセサリーには、不活性ガスを制御するための統合マスフローコントローラ、発熱体へのAC電力を制御するためのタイマーリレー、プロセス温度を監視するためのピロメーターが含まれます。また、プロセスパラメータの自動化、水素濃度の計算、圧力の監視、鉛/錫バス温度の制御に使用できるプログラマブルロジックコントローラ（PLC）も備えています。ASM A 412は、信頼性が高く効率的な拡散炉で、さまざまなアプリケーションや産業プロセスに適しています。高度な機能、ユーザーフレンドリーな設計、および品質コンポーネントにより、ASM A412は生産において正確で反復可能な結果を提供します。