中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9188258 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、シリコン、ヒ素ガリウム、チタンなどの先端材料を処理するために設計された多目的装置です。急速熱処理（RTP）、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、フォトレジスト除去、熱酸化など、さまざまな半導体加工に使用されています。このシステムは、さまざまなプロセス条件下で動作することができ、直径100mmから300mmまでの基板をサポートすることができます。AMAT CENTURA原子炉は、ロードロックチャンバーとプロセスチャンバーの2つの独立したチャンバーで構成されています。ロードロックチャンバーは、プロセスチャンバへの基板の積み降ろしを迅速に行うために使用されます。また、プロセスチャンバーを粒子や汚染物質から保護するために使用され、不要な材料を迅速にポンプアウトすることができる真空ユニットがあります。プロセス部屋は調節可能な圧力、温度および他のプロセスパラメータと基板の実際の処理のために意図されています。アプライドマテリアルズCENTURAリアクタは独自のEFC （End-Point Fast Cycle）機能を備えており、通常の分ではなく秒単位でプロセスエンドポイントに到達することができます。この機能により、時間とコストを節約でき、オペレータはさまざまなプロセスパラメータを迅速に最適化して最大の効率を実現できます。また、オゾンフリーの発熱体を使用しており、精密な温度制御とチャンバーの均一な加熱を実現しています。これにより、すべての基板がまったく同じプロセス条件にさらされ、一貫した高品質の半導体生産が可能になります。これらの機能に加えて、CENTURAリアクターは特許取得済みのマルチゾーン冷却ツールも使用しています。このアセットはチャンバの冷却速度を最適化するのに役立ち、チャンバはプロセスパラメータの変化に応じて素早く調整することができます。このモデルはまた、粒子の汚染、電子機器の故障、およびその他の潜在的な問題のリスクを軽減するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体産業で利用可能な最も信頼性の高い先進的な生産ツールの1つです。正確で安全で再現性のある結果を必要とする研究機関、大学、産業ユーザーに最適です。その最先端の特徴により、原子炉は優れた効率と信頼性で幅広い材料を処理することができます。