中古 SCI FilmTek 2000 #9186490 を販売中

SCI FilmTek 2000は、さまざまな半導体および太陽光発電ウェハ処理パラメータの高度で正確な測定を提供するように設計された強力なウェーハ試験および計測機器です。システムの中核は、強力なマルチコアプロセッサを搭載したFilmTek 2000 Unit Coreモジュールです。このプロセッサは、高精度のデータ処理だけでなく、機械の堅牢でリアルタイム制御を提供します。最大8種類の光学検査ヘッドに対応するように構成することができます。このツールには、可視システム、近赤外分光（NIR）、走査電子顕微鏡（SEM）などの複数の高度な光学システムが装備されています。Visible Systemsの光学パッケージには、明るく暗いフィールドの光学検査、ウェーハ反射率と散乱角度の測定が含まれており、ドライエッチング残留物、ナノ構造の均一性、電子ビームリソグラフィ（EBL）機能など、さまざまな計測機能を正確に測定できます。NIRアセットは薄膜厚を測定するために使用されますが、SEMモデルは材料やプロセスの詳細な分析を可能にし、重要な寸法を測定するために使用することができます。試験作業には幅広いサンプルステージを用意しています。オプションには、手動および自動ステージが含まれます。手動ステージでは、ユーザーはジョイスティックまたはハンドホイールでリアルタイムでパラメータを調整できます。装置はまた大きい区域を点検するための2軸の機械段階を収容できます。システムの温度範囲は、クローズドループPIDループによって制御され、最適な条件下でテストと測定が行われるようにします。統合された高精度顕微鏡バージョンが利用可能で、サンプルパラメータで最大1ミクロンの精度を提供します。ImageJ、 STK11、 SYNPROなど、データ収集や解析に利用できるソフトウェアは多岐にわたります。テストから生成されたデータは、オンボードユニットに保存および分析したり、外部データベースに転送することができます。SCI FilmTek 2000 Machine Coreは、お客様の特定の要件やアプリケーションの要求に合わせたさまざまな構成で提供されています。産業研究開発ラボ、研究開発、ウェーハ加工施設に適しています。