中古 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #192510 を販売中

KLA/TENCOR 6400 Surfscan Equipmentは、半導体、MEMS、フォトニクス、太陽電池などの幅広いウェハベースのアプリケーションで使用される高精度ウェハテストおよび計測システムです。このユニットは、0。2 µm 50cmまでのサイズの機能をテストすることができ、ステップ、フラット、エッジ、地形、エッチング、堆積、腐食など、さまざまな機能を測定するように設計されています。KLA 6400 Surfscanマシンは、3つの主要コンポーネントを使用して試験片を調査および分析します。このセンサは高分解能干渉計であり、標準顕微鏡では測定できない種類の測定が可能です。このモニターは、干渉計がサンプルをスキャンする際にサンプルをグラフィカルに表示します。ステージは、特定のテスト要件を満たすためにサンプル表面を傾け、回転させ、シフトすることができる電動、プログラム可能なプラットフォームです。このツールには、ユーザーがカスタマイズと再現性のための自動設定を設計できるソフトウェアパッケージも含まれています。このソフトウェアは、ユーザーが収集する画像やデータのテストパラメータとタイプを選択することができます。このプログラムには、ユーザーが不正アクセスからテスト結果を保護できるようにするセキュリティ機能も内蔵されています。この資産は、極めて精度と再現性に優れており、温度、湿度、振動などの環境要因を一定のレベルに保ち、最も困難な生産環境でも一貫した結果を維持するための統合された環境安全モデルが付属しています。また、さまざまな校正機能を備えており、各パラメータを個別に手動で校正することができ、テストの正確な要件に合った特定のパラメータを設定することができます。全体として、TENCOR 6400 Surfscan Systemは、精密ウェハテストおよび計測用に設計された、効果的で信頼性の高いユニットです。高度なハードウェア、ソフトウェア、セキュリティ、キャリブレーション機能を組み合わせることで、正確で再現性の高いテストが不可欠なあらゆる環境に最適です。