中古 NIKON / NTS NSR-2150 #293650967 を販売中

NIKON/NTS NSR-2150は、半導体ウェーハ製造において、主にリソグラフィ処理に使用される高精度ウェーハステッパーです。二重露光ステップとリピート原理で動作し、μ mの1/2のオーバーレイ精度で0。3 μ mまで分解能を提供します。コンパクトながら汎用性に優れ、高速0。275秒のレチクル交換装置やステージヒーター用の「インテリジェント」ヒーター制御など、省電力設計を実現しています。NTSのNSR-2150は一貫性を保障するために長い生命6 ″ F2.4光学システムおよびツイン接眼レンズを利用します。また、マニュアルフォーカスも可能で、波長436nmで1次テレセントリシティの分解能を持ち、1/2 μ mのオーバーレイ精度と0。4 μ mのエッジ検出精度を実現しています。ステッパーのステージは最大300 × 300 mmのストロークを持ち、高精度のデジタル光学エンコーダと温度センサーを備えたデジタル制御可動ステージによって駆動されます。また、オートホーム、ステージエラー補正、調整可能なスピンドルも含まれています。ステージの軸コンポーネントは、正確で同時にX/Yの動きを保証するために、対称的な構成で設定されています。NIKON NSR-2150は、回転、ミラー、非対称マルチバーススキャンなど、さまざまなアルゴリズムで複雑なパターン露出を処理するように設計されています。また、可変プログラマブル機能補正やダイナミックフレア補正など、複数のレンズ補正・補正機能を搭載してショット露出を改善しています。ステッパーにはグラフィックス指向のユーザーインターフェイスもあり、機械の操作が簡単で直感的になります。NSR-2150は1000万ショットの設計寿命で、信頼性が高く、国際的な性能と安全基準に従ってISO認証を取得しています。さらに、ステッパーには、過去のプロセスを追跡、保存、レビューするためのイベントログが組み込まれており、データの整合性と製品品質の両方を保護します。結論として、NTS-2150は、最新の半導体ウェーハ製造に必要な機能と機能を備えた強力で正確なウェーハステッパーです。高速で信頼性が高く、比較的使いやすいため、集積回路のより効率的で費用対効果の高い高精度製造が可能です。