中古 ASML FLOW SUB B/D #9292389 を販売中

ASML Flow Sub B/Dは、ウェーハテープ経路長とウェーハ平坦度をリアルタイムに制御できるように設計されたウェーハレベラー装置です。ウェーハテープジオメトリと表面品質のバリエーションを正確に測定、調整、補正できます。このシステムは、洗練された機械制御および電子制御ユニットを備えており、ウェーハテープの形状と平坦性の解像度において最高レベルの精度と再現性を提供します。このマシンは、高度なデュアルプレーンスキャンツールを使用して、最適な経路長と平坦度の測定を保証します。一方の平面はウェーハの表面全体の概観に専念し、もう一方の平面は表面の奥行きに専念しています。概要スキャンを使用すると、ウェーハ表面全体および深いレベルの機能全体にわたる大きな不規則性を検出および測定できます。このプロセスにより、ユーザーはウェーハ上のさまざまな電気的および/または光学的特徴を検出して測定することができます。詳細スキャンにより、より詳細な小規模機能の測定が可能になり、ウェーハの表面をよりよく理解できるようになります。このアセットには、直径300mmまでの大きなウエハサイズを扱うことができる4軸モーションモデルが含まれています。また、4つのリニアサーボモータを搭載し、ウェーハの正確でスムーズな動作制御を実現しています。さらに、ウエハテープの正確な形状にテープパスを正確に合わせるように設計された9軸モーションコントロールユニットを備えています。機械の最高精度を確保するために、Flow Sub B/Dには、レーザーライトプロジェクターを備えた多数の高度な光学アライメントセンサーが含まれています。これにより、工具の公差が高い精度で維持されます。また、ウェーハテープのパフォーマンスを追跡することもできます。このアセットには、ウェーハと向き登録の顔認識を提供する磁気エンコーダモデルも含まれています。この顔認識装置により、ウェーハの向きを正確に決定し、ウェーハテープが適切に整列していることを確認できます。フローサブB/Dは、ウェーハレベラーのための効率的で信頼性の高い正確なツールであるように設計されています。高度な機能と正確な制御ユニットを備えたASML Flow Sub/Dは、ウェーハテープの形状と平坦度のバリエーションを正確に測定、調整、補正することができます。