中古 ASML AT 1150 #293664233 を販売中

ASML AT 1150は、エレクトロニクス業界向けの小型回路部品の製造を支援する最先端のウェーハステッパーです。ステッパーは、この製造プロセスで使用されるウェーハの表面にパターンを自動的かつ正確にリソグラフィックで露出させることができます。ステッパーは高精度で動作し、データチップやマイクロプロセッサなどの製品に使用される回路や部品の商業生産ラインに不可欠な部品となっています。この装置は、双発の「Nipkow」ディスクと最大解像度4。5ナノメートルのDUV（深紫外線）光源をベースにした高度な2段階光学システムを中心に構築されており、ウェーハ上に非常に小さなパターンを作成する可能性があります。その結果、ステッパーのリソグラフィ出力は非常に高品質です。ステッパーはまた、低ノイズプラットフォームで動作し、露出ステップ間のX、 Y、 Z軸でウェーハを移動するために高精度のリニアモータステージのセットを利用します。これにより、さまざまな構造レベルの正確かつ正確なアライメントが保証されます。また、Z軸の動きのパラメータ、露出時間、およびいくつかのアライメントレベルなどのデジタル制御機能の包括的なセットが含まれています。リーダは、ウェーハの周囲を配列したアライメントマーク、LWD （Line Width Doubling）チェック、フォーカス検出、空中イメージングを測定し、プロセス結果を評価および評価することができます。完全なレチクル変換機能を備えたIndexerは、ウェーハの形状とサイズ全体にわたるスキャン露出の比類のない均一性を提供します。さらに、AT 1150には広範なユニット安全機能が装備されており、マルチレベルのパスワード保護機を提供しています。そのため、ASML AT 1150は、メモリウェーハ、ロジックウェーハ、DRAMウェーハ、不揮発性メモリウェーハ、その他のハイエンド回路の大量生産に最適です。