中古 ASM WS 896 #9302497 を販売中

ASM WS 896は、半導体製造プロセスに使用されるハイエンドウェーハステッパーです。DUVスキャンステッパーで、より高精度なウェーハ操作を可能にします。ASM WS896は、正確な配置精度と0。5 umまでの均一性を提供します。それに処理操作の大きい精密を提供する9インチまでの非常に広いスキャン分野があります。また、1時間あたり最大16ウェーハの高いスループットを提供し、大規模な生産に最適です。WS 896内の光学機器は、2つのレーザー干渉計を使用して、レチクルおよびウェーハ表面の正確な位置決めを行い、ピッチエラーを低減します。スキャンシステムはリニアドライブを使用して、フィールド全体の滑らかな動きを保証します。ウェーハの位置決め精度は1。5 µm以内で、最も精度の高い作業に適しています。WS896は、組み込みのアライメントユニットなど、幅広い機能を備えており、ユーザーは回路を迅速かつ正確にアライメントすることができます。また、デュアルビームパターニングマシンとプリシャープニング機能が付属しており、レチクル内の正確で均一なイメージングを保証します。さらに、このウェハステッパーには環境制御ツールが内蔵されており、加工チャンバー内の湿度をより良く制御できます。ASM WS 896は、比較的短時間で均一で精度の高い高品質のウェーハを製造できるため、あらゆる半導体製造設備に最適です。また、セットアップには数分かかり、メンテナンスが最小限に抑えられるため、ユーザーフレンドリーです。スマートオプティクス資産と広い視野を持つASM WS896は、基本的な製造操作からより複雑なイメージングシステムまで、さまざまなアプリケーションに使用できます。