中古 BOC EDWARDS W 75 #9231378 を販売中

BOC EDWARDS W 75
ID: 9231378
Wet scrubber For exhaust gas abatement.
BOC EDWARDS W 75ウェーハとマスクスクラバーは、製造プロセスで使用される半導体ウェーハとマスクの表面を洗浄するための多目的かつ高効率なシステムです。W 75は、半導体ウェーハやマスクから不要な残留物、粒子、汚染物質を除去するための効率的で費用対効果の高い方法を提供するように設計されています。BOC EDWARDS W 75は、ゴミの完全かつ効果的な除去を確保するために、スクラブ、すすぎ、乾燥の3段階のシステムを利用しています。マシンのスクラビングステージは、2つの回転可能なブラシアセンブリを使用しており、バランスのとれた洗浄動作を確保するために、時計回りと反時計回りの方向に移動します。ブラシは、ウェーハやマスクの損傷を防ぐように設計された柔らかい剛毛素材で作られています。第2段階は、すすぎサイクルです。これは、スクラブによって除去されなかった残りの粒子を除去するように設計されています。洗浄は約80°Fに加熱され、スクラビングブラシを通して循環される脱イオン水の霧で行われます。乾燥段階では、高速エアジェットが残りの粒子や汚染物質を吹き飛ばすために使用されます。エアジェットはまた、ウェーハやマスクを乾燥させます。W 75ウェーハとマスクスクラバーは、製造工程で高い清浄度を維持したい半導体メーカーに最適です。このシステムは非常に効率的で費用対効果が高く、単一および複数のウェーハ処理操作で使用できます。その結果、この機械はマイクロエレクトロニクス製造での使用に人気があります。
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