中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i+ #9210704 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i+
ID: 9210704
Critical dimension scanning electron microscope (CD-SEM).
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i+は、ナノメートルレベルの高分解能イメージングを提供する走査型電子顕微鏡(SEM)です。このデバイスは、高真空環境を使用し、イメージングのために最大10,000Xの精度を生成します。装置はまた非常に高い速度でイオンを加速することができます。in-situとex-situの両方の特性評価とイメージングを提供するため、研究開発に最適です。AMAT VeritySEM 4i+は、可変圧力解析に可変圧力SEMコンデンサを使用します。これは、イメージングされるサンプルの物理的寸法を変更するために使用されます。このプロセスにより、不純物誘発と微妙な幾何学的特徴の両方を分析することができます。また、SEMコンデンサーには低ノイズ冷却システムが組み込まれており、サーマルドリフトを排除し、より正確な測定が可能です。4i+には独自の6軸デュアルミラーコントローラがあり、完全性を損なうことなくサンプルを動かすことができます。これにより、より大きなサンプルサイズが可能になり、より複雑な機能をイメージすることができます。コントローラはイオンビームを自動的に正確に制御できるため、手動で調整する必要はありません。アプライドマテリアルズVeritySEM 4i+には、統合された電子ビームリソグラフィー(EBL)ユニットが含まれています。EBLマシンは、より詳細な分析のためにナノメートルレベルでサンプルをパターン化するために使用されます。高解像度検出器を搭載し、地形画像と化学画像の両方を生成することができます。さらに、EBLツールには、高精度リソグラフィ用の可変スポットビーム制御アセットが組み込まれています。VeritySEM 4i+には、原子レベルで画像を記録するために使用できる高解像度の電荷結合検出器(CCD)があります。CCDは、半自動画像処理ソフトウェアパッケージと組み合わせて使用されます。ソフトウェアは、ユーザーがより良いそれらを表示するために画像を操作することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 4i+には、高効率で低解像度の電子光学モデルが組み込まれています。この装置は、サンプルの高解像度画像を素早く生成することができます。高解像度電子光学系は、電子ビームの焦点を調整し、より良い解像度を提供する洗練されたオートフォーカシングユニットを内蔵しています。AMAT VeritySEM 4i+は、研究開発用の優れた走査型電子顕微鏡です。印象的な解像度、in-situおよびex-situ特性評価、および可変圧力解析用の可変圧力SEMコンデンサを提供します。さらに、印象的な6軸デュアルミラーコントローラと統合された電子ビームリソグラフィーマシンを備えており、正確なイメージングを実現しています。最後に、高解像度のチャージカップリング検出器と詳細な分析のための半自動画像処理ソフトウェアが含まれています。
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