中古 AG ASSOCIATES RTP-2106 #9045424 を販売中

ID: 9045424
ウェーハサイズ: 3"-6"
Rapid thermal processor, 3"-6" Applications: Implant activation Silicide formation Oxide reflow (PSG & BPSG) Alloying Cassette to cassette Microprocessor controlled Wafers per hour throughput: 60-100 Depending on anneal cycle Temperature range: 400-1250ºC Anneal time: 1-300 Seconds Electrical requirements: 208-240V, 3 Ohm 60A Maximum Water requirements: 2 GPM at 60-75 PSG.
AG ASSOCIATES RTP-2106 Rapid Thermal Processor (RTP)は、材料を迅速かつ効率的に処理するために設計された標準レートのサーマルプロセッサです。半導体ウェーハ、フラットパネルディスプレイ、マイクロエレクトロニクスデバイスなどの材料を処理するために、慎重に制御された高出力の熱処理を使用しています。この汎用性の高いツールは、基板にフィルムをアニール、活性化、酸化、駆動、または堆積するために使用できます。RTP-2106には、高度なアルゴリズムベースのサーマルプロファイリング機能と統合データロギングを備えた最新の制御機器が装備されています。高度なセンサーと複数のチャンバーにより、最適な温度制御と均一な熱分布が可能です。AG ASSOCIATES RTP-2106は、+/-2°Cの精度で1010°Cまで温度に達することができます。このマシンはまた、迅速なサイクリング時間を可能にし、露出時間の短縮、プロセス時間の短縮、および収率の向上をもたらします。RTP-2106は、過熱保護、取り外し可能なSSシールド、自動シャットダウン付きのLED警告システム、緊急停止ボタンなどの統合された安全機能も備えています。このユニットには真空装置が内蔵されており、生成された蒸気の適切な排気を保証します。AG ASSOCIATES RTP-2106は小さなフットプリントで設計されており、小さな実験室での使用に最適です。このツールは、プログラムと操作が簡単で、各環境の特定のニーズを満たすためにカスタマイズすることができます。さらに、RTP-2106には効率的なデータ分析機能、安全なパスワードで保護されたユーザーアクセス、および多数のトレーサビリティツールが付属しています。全体として、AG ASSOCIATES RTP-2106は、競争力のある価格で信頼性の高い効率的なパフォーマンスを提供するように設計された高度な急速なサーマルプロセッサです。幅広い機能と統合された安全プロトコルにより、この資産は、汎用性と効率的なサーマルプロセッサを探しているあらゆるラボにとって理想的な選択肢となります。
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