中古 TRYMAX NEO-3000 #9289694 を販売中

TRYMAX NEO-3000
製造業者
TRYMAX
モデル
NEO-3000
ID: 9289694
ヴィンテージ: 2016
Reactive Ion Etcher (RIE) 2016 vintage.
TRYMAX NEO-3000 Photoresist Equipmentは、複雑なフォトレジストプロセスに精密で一貫したエッチングと成膜を提供する画期的な新しいシステムです。このユニットは、マイクロエレクトロニクス部品を製造するための正確で再現性のある信頼性の高いプロセスを作成するために協力する一連のコンポーネントで構成されています。その中核にNEO-3000、フォトレジストエッチングと蒸着プロセスを簡素化および高速化する自動レジストプロセッサが搭載されています。プロセッサは使いやすく直感的なソフトウェアインターフェイスによって制御され、ユーザーはプロセスレシピを作成して保存できます。レシピは、プロセスのさまざまな要素を追跡および制御するデータロギングおよび管理ツールを使用して保存および適用されます。資産全体には、フォトレジストのプロセスが安全で安全な環境で実行されることを保証するために、幅広い組み込みの安全機能が装備されています。このモデルには、プロセスの精度と制御を向上させるさまざまな高度な機能が搭載されています。例えば、機器には「タグ付け」オプションがあり、各レジストレシピを通過中のウェーハにリンクさせることで、プロセッサがステーションからステーションに移動する際に適切なレシピを自動的に選択します。プロセッサには、レジストプロセスのすべてのステップを考慮し、欠陥や汚染の原因を排除することによって精度を維持する自己クリーニングシステムとして機能する「Bin」機能も含まれています。TRYMAX NEO-3000フォトレジストユニットは、複雑なフォトレジストアプリケーションに高いレベルのプロセスエクセレンスを提供するように設計されています。その高度な安全性、監視、制御機能は、エラーのリスクを最小限に抑えた一貫した品質の製品を提供します。その使いやすさと直感的なソフトウェアインターフェースは、生産性を高め、運用コストを削減しようとする企業にとって理想的です。
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