中古 TRYMAX NEO-3000 #9269770 を販売中

TRYMAX NEO-3000は、高度なリソグラフィ用途向けに設計された最先端のフォトレジスト機器です。それは関連する露出の優秀な一致を可能にするように設計されている革新的な技術の組合せを利用する。これらには、グレースケール正の強度変調（G-PIM）、垂直配置（VA2）、選択パターン配置（SPP）が含まれます。その結果、露出パラメータを最小限に調整することで、細かい機能サイズと優れたCDの均一性を実現することができます。NEO-3000は、可変スキャン幅を備えた高精度、高速マルチフェーズベクタースキャナを備えています。これは、特徴サイズ制御のための+/-0。2um精度に達することができる非常に正確なデバイスです。この精度により、異なるフォトレジストレイヤー間の優れたパターンマッチングが可能になり、必要な調整レベルが大幅に低くなります。このシステムには高周波光源も含まれており、さまざまなカスタマイズ可能な露出制御パラメータと相まっています。これにより、ユーザーは必要な正確な切断精度と深さを達成することができます。さらに、TRYMAX NEO-3000には、ユーザー定義のパラメータに従って露光時間と投与量を正確に制御できる投与ツールがあります。NEO-3000には、ユーザーがユニットのパフォーマンスをリアルタイムで監視できる一連の監視システムも含まれており、エラーの発生しやすいプラクティスを最小限に抑えることができます。全体的に、TRYMAX NEO-3000は高度なフォトレジストマシンであり、フォトレジスト層の間に優れたパターンマッチングを提供するように設計されています。これは、正確なパターン配置、複雑なパターンマッチング、またはフィーチャーサイズ制御を必要とするあらゆるリソグラフィーアプリケーションに最適なソリューションです。