中古 AND ASP-2000LX #9205491 を販売中

AND ASP-2000LX
製造業者
AND
モデル
ASP-2000LX
ID: 9205491
ウェーハサイズ: 2"
ヴィンテージ: 2010
Track systems, 2" 2010 vintage.
AND ASP-2000LXは、産業用に設計された高精度の完全自動フォトレジスト装置です。レジストコーティング、露出後ベーク、AND開発の露出を単一の完全自動運転に組み合わせるユニークなシステムです。このユニットは、プロセスのパラメータを継続的に監視し、最適な製品品質を確保するためにリアルタイムで調整することで、生産プロセスと製品歩留まりを向上させるために設計されています。機械は2つの主要な部品から成っています:露出の単位およびプロセス制御の単位。露出ユニットには、広範囲にわたって露出時間とパワーレベルを設定するようにプログラムすることができる精密制御レーザダイオードが装備されています。これにより、レジスト厚さ制御で1%以上の精度が得られ、さまざまなフォトレジスト材料を処理するようにツールをプログラムすることができます。プロセスコントロールユニットは、アセットの頭脳であり、露出に続く様々な操作を管理することを任務としています。露出後の焼成プロセスのための高精度オーブン、最適な露出後の焼成時間を正確に決定するためのビジョンモデル、および基板を損傷することなく露出および露出していないフォトレジストを迅速に除去するための自動開発装置が含まれています。さらに、プロセスデータASP-2000LX監視、記録、および分析するためのシステムANDのさまざまな機能を制御するための包括的なソフトウェアスイートが含まれています。このソフトウェアを使用すると、使用する基板のタイプとサイズに基づいて露出プロファイル、オーブン温度、および開発パラメータをカスタマイズできます。全体的に、AND ASP-2000LXフォトレジストユニットは、フォトレジストプロセス全体を精密に制御する先進的な産業ソリューションです。製品の歩留まりを改善し、露出時間を短縮しながら、結果の正確性と一貫した品質を確保できます。
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