中古 LEICA / VISTEC INS 3000 #9238317 を販売中

LEICA / VISTEC INS 3000
ID: 9238317
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Wafer inspection system, 8" 2000 vintage.
LEICA/VISTEC INS 3000は、最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高いスループット率を実現し、クラス最高の光学系と照明を組み込んで最大の欠陥検出を可能にする完全自動検査システムです。このユニットには、正確な検査精度を保証する正確なアライメントとフォーカスコントロールマシンが装備されています。このツールには、サンプルローディングとポジショニングアセットが統合されており、効率的なローディングとアンロードが可能です。2Dと3Dの両方の検査が可能なため、マスク、ウェーハ、基板など様々な種類の基板の地形を検査することができます。その先進的な光学と照明により、0。5ミクロン以下の極めて小さな欠陥を検出することができます。この感度は業界に類を見ないレベルであり、個々の金型のレベルまで異常を検出できる高感度検査を可能にし、望ましい欠陥の迅速な確認を可能にします。LEICA INS 3000は、イントランスポートサンプルおよびオンクランプサンプル処理もサポートしているため、プロセスの流れを合理化し、サンプリング、ロード、アンロード、位置決めに必要な時間を短縮できます。また、高いカスタマイズ性と柔軟なパラメータ設定を可能にするユーザーフレンドリーなソフトウェアが装備されており、既存の検査ラインに簡単に統合できます。特許取得済みのサブアングルイメージングテクノロジーは、サンプルの包括的な概要を提供し、複数の角度からすべての方向にサンプルをキャプチャします。これにより、手動でサンプルを回転させる必要がなくなり、より効率的な検査プロセスが可能な欠陥の迅速な特定に役立ちます。VISTEC INS 3000は、柔軟性、感度、およびスループットの可能性により、マスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適なソリューションです。検査プロセスを合理化し、機器ワークフローを最適化しながら、優れた欠陥検出性能を提供する信頼性の高い高性能ソリューションです。
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