中古 USHIO UX-4440 #293636267 を販売中

ウシオUX-4440は、業界をリードする高速ウェーハアライメントを提供する最先端のマスクアライナーです。高いアライメント精度と高いスループットを高スループットで処理でき、ラインとマークのアライメント歪みを最小限に抑えます。これにより、半導体製品の大量生産に最適です。USHIO UX 4440マスクアライナーの中核は、3軸の光学機器です。2つのレーザースキャナーと2つのレーザダイオードを使用して、単一のスキャンでエッチングパターンの厚さと高さを測定できます。これにより、エッチングされたマスクパターンがウェーハ上に正確に配置され、再現性の高い大量生産が可能になります。また、UX-4440は可視光デジタル顕微鏡を備えており、最大0。2 μ mの精度で高解像度の画像を提供します。さらに、自己キャリブレーションを内蔵することで、ウェーハ上のマークのパターンやラインを識別、測定、整列できます。これにより、アライメントエラーの調整と修正が簡単になります。スキャンステージを装備し、最大200mm/secの広視野（1mm四方）を提供します。ウエハ保持段も備えており、3〜8インチのウエハ径に対応しています。ウェハローディング、アライメント、マーキングの自動化により、複雑なパターンを正確に再現できます。UX 4440にはオプションのインターフェイスボードが装備されており、品質検査や統計などの各種ソフトウェアプログラムとの直接通信が可能です。これにより、オペレーションを自動的に実行し、ヒューマンエラーの可能性を減らすことができます。また、ウシオUX-4440には、ウェハプロテクター、アラーム機能、緊急時のスタンバイモードなどの安全機能が充実しています。これにより、事故のリスクを最小限に抑えて最大限の安全性とオペレータの快適性を確保します。結論として、ウシオUX 4440は、あらゆる業界の要求に応えることができる大量生産のための高度な機能を備えた高度な洗練されたマスクアライナー機です。堅牢な設計、オートメーションオプション、安全機能により、複雑で高精度なアライメントタスクに最適です。