中古 EVG / EV GROUP 620TBR #9207968 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9207968
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2002
Automated mask aligner, 6"
Topside alignment (TSA)
Bottom side alignment (BSA)
Automatic alignment
(3) Cassette station ergo load cassette station
Cassette to cassette handling (can also be operated in manual mode)
Up to 6" wafer capable
Can be operated in proximity, soft contact, hard contact / Vacuum contact exposure modes
Exposure optics: Type C, 350 nm - 450 nm, broadband
Lamphouse: 500 W
Motorized alignment stage (x, y, theta directions) to the 3-Axis joystick
Microsoft windows based user interface
System PC, keyboard, cables
Operations manual for EVG 620
2002 vintage.
EVG/EV GROUP 620TBR Mask Alignerは、高解像度のマスクアライニングとパターニング用に設計された先進的なデバイスです。ウエハベースの完全自動化された装置で、複雑なパターンを生成するプロセスを簡素化しながら、精度と精度を提供します。EVG 620TBRは、ウェーハエリア全体にわたって非常に高いアライメント精度を提供し、サイクル時間は数秒から数分です。また、高分解能パターニングにより高収量の結果を得ることができます。EV GROUP 620TBRは、ユーザーが単一のウエハに異なるパターンを正確に配置し、露出することを可能にする高度な技術を備えています。高解像度の光学アライメントシステムと蒸発露光ユニットを備え、スキャンレンズを使用してパターンのサイズと形状をウェーハに投影します。620TBRは、産業用フィルム、偏光素子、X線マスク素子、その他の薄膜材料など、さまざまな基板タイプを取り扱うように設計されています。また、複数の基板を高精度に自動調整することも可能です。EVG/EV GROUP 620TBRは、ユーザー定義のアライメントパラメータを提供し、アライメント結果のフィードバックを提供する高度な制御マシンを利用しています。各ウェハは、ツールのソフトウェアベースのデータストレージ資産を使用して個別に監視できます。また、ユーザーはバッチ処理を設定することができます。これにより、複数のウエハのパターニングが一貫しており、時間の要求が低減されます。EVG 620TBRは、ウェーハクランプをロックする機能や緊急停止ボタンなど、さまざまな安全機能を備えており、緊急時の操作をすばやく停止できます。さらに、このデバイスにはさまざまな安全センサーが装備されており、環境を積極的に監視し、危険な状況を回避することができます。EV GROUP 620TBR Mask Alignerは、ナノリソグラフィからマイクロエレクトロニクスまで、さまざまなアプリケーションに最適なツールです。その精度と速度に加えて、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと安全機能により、このマシンは商業、産業、および学術研究のための効率的で信頼性の高い選択肢となります。
まだレビューはありません