中古 CANON MPA 600 FA #9148243 を販売中

CANON MPA 600 FA
製造業者
CANON
モデル
MPA 600 FA
ID: 9148243
Mask aligners.
CANON MPA 600 FAは、半導体デバイス製造用に設計された最先端のマスクアライナーです。高いアライメント精度、優れたスループット、幅広い処理能力など、多くの高度な機能を備えています。このデバイスは、半導体ウェーハにフォトマスクを揃えるために使用され、複雑で正確なパターンを作成できます。CANON MPA600FAは、空気を使ってフォトマスクとウェーハをテーブルから持ち上げる2次元エアベアリング設計を採用しており、両方のコンポーネントを正確に調整しながら、最大限の安定性を確保します。この2Dエアベアリング設計により、プロセスのアライメント精度が非常に高くなります。リニア精度はサブミクロン範囲で測定され、最小限の労力で正確なアラインメントを行うことができます。マスクアライナーには、スキャンレーザーシステムと高感度の光学系も装備されています。レーザーシステムは、フォトマスクとウェーハに正確に照射された光ビームを投影し、微細なパターンでも正確なアライメントを可能にします。さらに、高度な光学系を使用すると、ウェーハ全体を一度に表示でき、アライメントプロセスの結果を包括的に把握できます。MPA-600FAは最大600フレーム/秒の速度で動作可能で、チップ製造時に優れたスループットを提供します。また、フィルムと積層フォトマスクの範囲と互換性があり、様々なパターンやサイズのアライメントを可能にします。また、機械的衝撃に対する耐性が高いため、様々な加工環境での使用に適しています。最後に、MPA 600 FAには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスやポストアライメント解析用の幅広い分析ツールなど、さまざまなソフトウェア機能が装備されています。これらの機能はデバイスを丸め、現在市場に出回っている最も包括的で高度なマスクアライナーの1つになります。
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