中古 CANON MPA 500 Fab #9410722 を販売中
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ID: 9410722
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1996
Mask aligner, 5"
Control box
Lamp power supply
Missing parts:
CTC Unit
Conduit
1996 vintage.
CANON MPA 500 Fabは、集積回路（IC）ウェハの製造に使用される高度なマスクアライナーです。このデバイスは、フォトマスクとICウエハの手動アライメントの必要性を軽減する、正確で自動化されたアライメントプロセスを利用しています。CANON MPA 500FABは、高解像度ビデオ検査装置と非接触変位検出システムを使用して、可視マーカーとパターン境界の正確な整列を保証します。マスクアライナーは、アライメントおよびリソグラフィープロセス中にウェーハの平坦性を維持するように設計されています。このデバイスはさらに、精密なビームスキャンとポジショニングユニットを備えており、精密オーバーレイ機能のスムーズな遷移を提供します。MPA-500FABは高速スキャン速度と正確な位置決めを可能にする高精度ステージを備えています。また、高精度なフォーカスサーボマシンを搭載し、高精度な結果を得られるため、正確なパターン領域にビームを集中させることができます。マスクアライナーには、CCDイメージングツールとシームレスなレイヤアライメントを容易にする多波長イルミネーションアセットが装備されています。さらに、このデバイスは最大100nmのラインとスペースパターンを露出することができ、最大露出面積は200mm x 200mmです。このデバイスには、高速で正確で正確な露出精度を確保するために、マルチゾーン露出制御モデルと高解像度の自動補正装置が含まれています。CANON MPA 500-FABは、1時間あたり120ウェーハのスループットで、高スループットレベルで動作することができます。このデバイスは、1サイクルで複数の露光プロセスを完了することができ、大量の量産に適しています。このデバイスは、メンテナンスを最小限に抑え、シンプルなユーザーインターフェイスを利用し、長期的な信頼性のためにANSIの安全基準を満たしています。
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