中古 CANON MPA 500 Fab #9144945 を販売中

CANON MPA 500 Fab
製造業者
CANON
モデル
MPA 500 Fab
ID: 9144945
ウェーハサイズ: 4",5"
Mask aligners, 4" and 5".
CANON MPA 500 Fabは、感光性レジストの品質と再現可能な接触印刷を提供する高度なマスクアライナーです。フォトリソグラフィ加工の最先端技術を搭載し、マスクから基板へのパターン転送が可能です。CANON MPA 500FABの主な特徴は、高速、高精度のマルチピクセル厚モーションユニット、自動補正コールドアークイメージングシステム、接触印刷用の精密アライメント、人間工学に基づいた基板アライメント、各種レジスト材料との互換性です。さらに、このマスクアライナーは、プロセス統合とファインフィーチャーアライメント、自動電気テスト印刷、レイヤー間のずれの削減、使いやすいユーザーインターフェイスを提供します。MPA-500FABは高度な接触印刷タスクとファインピッチアライメント用に設計されています。CANON MPA 500-FABは、5ミクロンの分解能と1,000分の1のピクセル間隔で基板を移動できるモーションユニットにより、生産段階の接触印刷に優れた精度を提供します。人間工学に基づいた基板アライメントの設計により、基板の迅速かつ正確なアライメントが可能となり、高精度を保ちながら生産時間を短縮します。基板アライメントユニットは、座標を使用して基板位置のパラメトリック制御を可能にし、接触印刷のための自動微細ピッチアライメントを可能にします。MPA 500 Fabは、フォトレジスト、無機樹脂、導電性酸化物、ガラス、石英、Siウェーハなどの各種基板材料との互換性を提供します。この機械は、バイナリ、減衰台形、アンチエイリアス画像などのさまざまなマスク技術を使用して、正確なパターン転送を可能にします。また、CANON MPA-500FABは、高解像度の高画質画像を容易にする高度な自動調整コールドアークイメージングツールを備えています。接触印刷やダイレクトイメージングに使用することで、様々な基板上に微細なパターンを作り出すことができます。自動補正されたコールドアークイメージングモデルは、均一な照明を保証し、パターンの直線性を向上させます。さらに、MPA 500FABにはプロセス制御とセンサー診断が統合されており、効率的な生産プロセス管理が可能です。これらの装置の特徴は高精度で一貫した、反復可能な特徴の整列を提供します。MPA 500-FABは、高度な電子デバイス製造タスクのための優れた品質、再現性、正確な接触印刷を提供するように設計されています。このシステムは、強化されたプロセス統合とファインフィーチャーアライメント、自動化された電気試験印刷、さまざまなレジスト材料および基板との互換性など、さまざまな利点を提供します。
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