中古 CANON MPA 500 Fab #293652734 を販売中

CANON MPA 500 Fab
製造業者
CANON
モデル
MPA 500 Fab
ID: 293652734
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligners, 5".
CANON MPA 500 Fabは、半導体産業における高品質デバイスの生産を可能にするために設計された最先端のマスクアライナーです。このマスクアライナーは、5インチの視野と5軸モータ駆動装置を使用して、フォトマスクからウェハまでのパターンを高精度かつ生産性で正確に転送します。CANON MPA 500FABは、簡単なリソグラフィからハイエンドのウェットエッチングまで、幅広いプロセスを実行できます。プロトタイピングと生産運営の両方のお客様にサービスを提供する位置にあります。基板サイズは200mmから4インチまで幅広く対応し、メモリやロジックなどの高品質デバイスのアライメントを可能にします。このツールはまた、マスクフィールド全体に露出強度を確保するために多方向ビームを使用しています。また、MPA-500FABは独自のレーザー誘導アライメントシステムを備えており、マスクとウェーハの自動アライメントを可能にします。このユニットは、0。3ミクロンの分解能と1ミリラジアンの精度を提供し、高収率デバイスを生成することができます。エミッタ源は、露出設定の変更でもウェーハ全体に安定した均一なパターンを生成するように高度に最適化されています。キヤノンMPA-500FABは厳しい環境要件を満たしており、デバイスの種類に応じて、ウェットまたはクリーンルームの製造に使用できます。また、センサー対応の安全カバー、ドアロック、ユーザー/ティーチングインターフェイスなど、複数の安全機能を備えています。また、洗練された自動自己診断マシンを使用することで、メンテナンスがはるかに容易になり、生産ダウンタイムを引き起こす前にオペレータに潜在的な問題を警告することができます。結論として、キヤノンMPA 500-FABは、非常に高精度で生産性のために設計されており、プロトタイピングと生産の両方の顧客にサービスを提供するための幅広い機能を提供しています。クリーンルームやウェットエッチ生産など、さまざまな環境要件を満たすように構築されており、自己診断ツールやレーザー誘導アライメントなどの機能を備え、生産プロセスから最高の歩留まりを保証します。
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