中古 CANON MPA 3000W #9393325 を販売中

CANON MPA 3000W Mask Alignerは、高品質の半導体を製造するために設計された中型プロフェッショナルリソグラフィ装置です。高精度・高分解能を実現するため、精密マスクからウェーハアライメントまで接触アライメント方式を採用しています。CANON MPA-3000 Wマスクアライナーは、大型ウエハ加工用の露出面積が大きく、全面に均一な露出が可能です。本体には、0。5ミクロンの分解能で1ミクロン以下の精度を実現する6インチメインアライメント方式を採用しています。また、ピン位置を測定し、適切なウェーハ位置を確保するために必要な補正を計算する自動ピン位置検出器を備えています。0。1ミクロン分解能の3 インチCCDカメラは、半導体デバイスを製造する際に必要なマスクパターンにアライメントすることができます。MPA 3000Wマスクアライナーには、露出パターンをより正確に検査する自動顕微鏡照明機があります。それは露出の前に整列の安定性を点検するプログラム可能な干渉計の用具が装備されています。高解像度露光モニターは、露光線量と時間を監視します。また、ウェーハ交換を高速化する高速エアベアリングステージも備えており、サイクルタイムを短縮し、スループットを向上させます。MPA-3000 W Mask Alignerは、ウェーハ露出とアライメントにマスクを使用するための総合的な機器統合機能を提供する汎用性の高い費用対効果の高いリソグラフィックモデルです。ユーザーフレンドリーなデザインと使いやすいコントロールを備えているため、機器のセットアップと操作が簡単です。その高度な機能は、研究や産業用に適しています。