中古 PHILIPS / FEI Strata DB235 #293591968 を販売中
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ID: 293591968
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope (FIB-SEM)
Dual beam
Multiple electron detector
Ion detector
Digital scan board
Ion beam current range: 1 pA - 20 nA
Ion beam resolution: 7 nm
Resolution: 5 nm
Gas Injection System (GIS): (4) Cartridges
Gas injection system: (3) Gases
Platinum deposition (CH3, PT, CPCH3)
XEF2
Enhanced etch (Iodine)
Insulator depositor (TEOS)
Controller box has been removed.
PHILIPS/FEI Strata DB235は、表面層を除去し、構造物の高解像度画像を得るために使用されるイオンミリング装置です。これは、精密フライス加工用途向けに特別に設計された産業用グレードツールで、集積回路の準備、デバイスパターン、GaAsおよびSiGeエピタキシーおよび混合モードリソグラフィなどのさまざまなアプリケーションで使用できます。FEI Strata DB235は、多くの特殊な機能を備えた幅広いアプリケーションを可能にする多目的システムです。サンプルの積み下ろし、サンプル翻訳、イオンビーム露出、フォーカシングなど、さまざまなイオンフライス加工に対応できる自動ユニットです。125μAと2mAの間の調整可能なイオンビーム電流範囲を使用すると、有機、有機金属、金属サンプルを最大0。3umの深さまでフライス加工でき、解像度は最大3nmです。PHILIPS STRATA DB 235は、より正確で一貫したパフォーマンスを保証するために、多くの高度な機能を採用しています。このツールには、摩耗監視やビーム最適化など、多くの高度な制御システムが装備されています。摩耗モニタリングは、イオンビームがフライス加工中に焦点を合わせることを保証する機能であり、ビーム最適化機能はフライス加工速度が一貫しており、最高品質の画像が達成されることを保証するのに役立ちます。PHILIPS Strata DB235は、粒子逃避を防止する封じ込めシールドや、より高速な動作と安全性の向上を可能にする安全インターロック資産など、多くの安全機能の恩恵を受けています。また、研究開発要員や生産ラインとのコミュニケーションを容易にするためのデジタルインターフェイスも備えています。全体として、PHILIPS/FEI STRATA DB 235は強力で信頼性の高いイオンミリングモデルで、構造物の高解像度画像を得るために使用できる幅広い機能と機能を提供します。精密フライス加工用途に最適で、高度な機能により、さまざまなビーム露出およびパターニング操作の信頼性と精度を保証します。
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