中古 AMAT / APPLIED MATERIALS xR120 #293627742 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS xR120
ID: 293627742
ウェーハサイズ: 8"
High current implanter, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS xR120イオンインプランターとモニターは、さまざまなイオンを基板に埋め込む際に優れた性能を提供するために設計された、高度な次世代技術です。本装置は、RF(無線周波数)リニアモータ、高電圧ジェネレータ、およびデジタル制御を組み合わせて、注入プロセスを正確に制御し、正確で反復可能な性能を提供します。AMAT xR120イオンインプランターは、高電力で最大120 KWのインプラント速度を実現する単面高電流システムです。このユニットは高電圧ジェネレータを使用して、表面とソースの間に電位差を生じ、イオンを非常に高い速度で埋め込むことができます。このプロセスでは、アプライドマテリアルズxR120の高精度イオン制御システムが、ビームエネルギー、電流、投与量、およびその他の要因を測定および監視し、注入プロセスの精度と再現性を確保します。xR120が使用する高度なRFリニアモータ技術は、正確で正確なイオンビームの位置決めと制御を保証します。この技術はイオンビームの傾きと位置を制御するために使用され、基板に正確な用量を正確に埋め込むことができます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS xR120は、精密なレーザーおよび光学ビーム制御機構を使用して、あらゆる残留イオンの正確な埋め込みと正確なクリーンアップを保証し、基板内の均一で均一なイオン層を提供します。AMAT xR120は、正確な埋め込みと制御に加えて、優れた監視機能も提供します。このマシンは、自動監視プラットフォームを使用して、着床プロセス中の温度、圧力、およびその他のパラメータを常に監視し、オペレータにフィードバックを提供して、一貫した着床体験を確保します。アプライドマテリアルズ(APPLIED MATERIALS) xR120イオンインプランターとモニターは、さまざまなイオンを基板に正確に再現可能に埋め込むために設計された、最先端の強力なツールです。高度なRFリニアモータ技術、高精度イオン制御システム、精密なレーザーおよび光学ビーム制御メカニズム、および自動化されたモニタリングプラットフォームがすべて集まり、優れた性能を提供するため、xR120はあらゆる埋め込みプロセスに理想的な選択肢となります。
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