中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3 #9192602 を販売中

ID: 9192602
ウェーハサイズ: 8"
Process module wheels, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum Leap 3 (QL3)は、半導体生産のための高度なイオンインプラントおよびモニターです。このマシンは、優れた性能と運用効率とコスト削減を兼ね備えています。最大エネルギー範囲は25〜400キロエレクトロンボルト(keV)で、QL3は高精度の埋め込みとパフォーマンスの結果を提供します。それはクリーンルームの製作の環境の延長操作のために設計されている非常に信頼でき、強い機械です。AMAT Quantum Leap 3は、多くの先進的な半導体プロセスのニーズを満たすことができます。高度なビーム制御技術と相まって、高いスループット能力と精密イオンビーム操作を備え、最高の効率を実現します。強化されたビーム制御により、特にインプラントの均一性に関して、安定性が向上し、精度が向上します。さらに、高度に構成可能なプラットフォームにより、各インプラントのプロセスを完全に最適化できます。QL3イオン注入システムは、特別に設計されたハードウェアとソフトウェアアーキテクチャによって駆動されます。インプランターには強力なプロセッサが装備されており、大きな命令セットと長いジョブ実行の高速処理を実現します。ソフトウェアはオペレータにインプラントを正確に制御し、パラメーターを監視することで、最も正確な結果を得るためにインプラントのパラメーターを最適化することができます。QL3は、イオン注入器とモニターという2つの異なるコンポーネントで構成されています。イオンインプランターは、金属イオンをウェーハ基板に加速する高圧低圧装置です。加速電極、フォーカスオプティクス、プラズマ源、イオン源、真空下に含まれる全体など、複数のステージで構成されています。このモニターは、最先端のスキャンプローブ顕微鏡を使用して、イオン注入プロセスを監視および検証します。最後に、イオン注入器とモニターは高度な診断機能を備えています。これにより、インプラント工程の詳細な分析が可能になります。さらに、これらのツールは、予防保全、プロセス最適化、およびイオン注入に関連するその他のタスクに使用できます。アプライドマテリアルズQuantum Leap 3システムは、半導体の生産において最高レベルの性能と信頼性を保証します。
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