中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Extration for xR80 #293671706 を販売中

AMAT xR80は、高度なイオンインプランターとモニターです。シリコンウェーハなどの基板にイオンを高精度かつ高精度に埋め込むように設計されています。このxR80は、xRシリーズの最先端のインプランターであり、最適なプロセス精度と制御を実現するために革新的な高エネルギーおよび低エネルギー製品を備えています。また、高度なイオン入射電流源を備えているため、インプラントの均一性を向上させることができます。xR80は、スポットサイズ、現在の設定、ドウェル時間などの正確なビームパラメータ、最新のジッタ除去技術、クローズドループのフィードバック制御を提供します。これにより、イオンを高精度で再現性のある基板に埋め込むことができます。また、インシデント電流の独立したビーム源を提供し、イオン注入の均一性と投与量の制御を最大化します。また、広範囲の基板サイズと温度を備えた基板機能の強化や、低電流値を中心にスポットサイズを小さく維持しながら均一性を向上させる先進的な対物レンズ設計をxR80しています。このxR80には、正確で再現性のあるプロセス結果を可能にする自動プロセスルーチンも装備されています。また、xR80には、エラーの可能性を最小限に抑え、基板や分子への損傷の可能性を低減する幅広い安全機能があります。これらには、包括的なセーフガードおよびモニタリング機器、オンボードマシン診断、および障害を検出して技術者に警告できる高度なセルフテストシステムが含まれます。最後に、xR80の自動メンテナンスおよびキャリブレーションシステムは、ダウンタイムを削減し、マシンから最高レベルのパフォーマンスを保証します。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） xR80は、誤差や基板の損傷を最小限に抑えながら、精度と再現性を最大化するように設計された高度なイオンインプラントおよびモニターです。高エネルギーおよび低エネルギー設定、高度なビーム制御、自動化されたプロセスルーチン、包括的な安全機能により、高精度で高スループットイオン注入に最適です。