中古 BOC EDWARDS i-250 #9382221 を販売中

製造業者
BOC EDWARDS
モデル
i-250
ID: 9382221
GRC System Part number: N68072610.
BOC EDWARDS i-250は、主に真空蒸着プロセスに使用される最先端の設備機器です。熱蒸発、マグネトロンスパッタリング、リニア、ロータリーマグネトロンスパッタリングなど、さまざまな用途に最適な加工性能を提供するために設計された高真空装置です。このシステムは使いやすく、特別なサポートやインストールを必要としません。I-250はオールインワンユニットで、真空ポンプ、マニホールド、および必要なすべての蒸着アクセサリーを単一のコンパクトなプラットフォームに統合します。このユニットは強力なダイレクトドライブターボ分子ポンプを備えており、1x10-5 Torr未満のベースチャンバー圧力に達することができます。これにより、真空パラメータの変化を処理するための応答時間を短縮できます。BOC EDWARDS i-250は、堆積プロセスの高度な制御および監視機能も備えています。最先端のコントローラは、最大16個の蒸着源を同時に制御することができ、プロセスを監視するための内蔵の診断機を備えています。このインテリジェント制御ツールはユーザーフレンドリーで、ユーザーは内部および外部電極の動きと速度制御を含むさまざまなプロセスパラメータをカスタマイズすることができます。実行レシピの保存、堆積パラメータの監視/トレンド、分析のためのプロセス履歴の散布プロットグラフの提供だけでなく、。また、ダイレクトエマージェンシーシャットオフスイッチ、自動化された高圧シャットオフスイッチ、オーブンおよびベースチャンバー接続用の密閉シール、デュアルインターロック安全扉など、正確で安全な処理を保証するためのいくつかの安全機能を備えています。さらに、水蒸気とバックストリーミングからの保護を提供し、リーク検出器の必要性を低減します。i-250の良質の構造は要求の沈殿の適用のための完全な選択です;その堅牢なデザインと高品質の材料は、信頼性と再現性の高い結果を保証します。このユニットは高度にカスタマイズ可能で、複数のソース、モーター付きリフトテーブル、低温凝縮モデルなどの追加のアクセサリーを取り付けることができます。全体的に、BOC EDWARDS i-250は、ユーザーに簡単な操作、強力なパフォーマンス、および強化された安全機能を提供する、さまざまな蒸着プロセスに最適です。小型研究所から大型製造工場まで、あらゆる生産スペースに収まるコンパクトなユニットです。
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