中古 VEECO Microetch LL250 #59880 を販売中
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ID: 59880
Automatic loadlock ion mill, 4"
Optical / Fiber optic system for endpoint detection
Square substrates:
Can be modified to accept 4" round substrates
System used to mill:
Platinum
Titanium
Nickel
Copper
Nichrome thin film metals
Anisotropic etching includes:
Au, Cu, Ni, Cr, and TiW
Multistep etch processes for stacked layers (MLC, MCM):
Ceramics
Hybrids
Thin film heads
Flat panel displays
High frequency devices
Process flexibility with IBE, RIBE, CAIBE, flowcool substrate cooling
Rotation and tilting options configured
Pumping system includes:
Mechanical pump and turbo pump for main chamber
Mechanical pump and turbo pump for load lock / Transfer chamber
Spare parts:
Magnetic sensor
Shutter gear assembly
Shutter worm gear
Molly screws for source
Tungsten source wire
Tungsten neutralizer wire
Assorted insulators
Assorted O-rings
Fixturing plates, 4"
PC:
Comark
Model: 4000 Series
INTEL 486i
1994 vintage.
VEECO LL 250はナノ構造物の製造に使用されるイオンフライス盤です。これは、特にエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス業界の用途において、高品質のナノ構造表面の製造に最適なツールです。このシステムは、優れた表面品質を達成するために焦点を当てたイオンビームに依存し、人間工学に基づいた設計で高度なアブレーションチャンバーを備えています。VEECO Microetch LL250は、ミリングパラメータのカスタマイズを可能にするフィールドプログラマブルユニットです。幅広いビームエネルギー、パルス長、ガス圧力を備えています。ビーム電圧のフルレンジは、異なる基板や材料のフライス加工機能を調整するために調整することができます。また、イオンビーム電流やエネルギー制御などの高度なイオンビーム診断とシステム監視も提供しています。LL 250は、四極ベースのイオンビームカラムを備えており、幅広いビーム(電子)エネルギーを可能にします。これにより、フライス加工プロファイルの柔軟性とカスタマイズが向上します。エネルギーとパルス長の柔軟性により、マイクロエッチングLL250は、MEMS材料、バイオマイクロ流体、光学部品など、さまざまなイオンエッチング工程に適しています。さらに、VEECO LL 250は高解像度のイメージングステージを備えており、基板の精密なアライメントと向きを可能にします。これは、ウェーハサイズ全体にわたって一貫したプロセスを保証するために重要です。イメージキャプチャとドリフト補正パターンにより、開発コストの大幅な削減とサイクルタイムの向上も実現します。また、VEECO Microetch LL250には動的ビームシェーピング機能が組み込まれており、不均一なビームエネルギーやスペースによって引き起こされる非均一または歪んだイオンプロファイルを最小限に抑えます。このダイナミックビームシェーピングにより、幅広い基板および材料の最高品質のエッチングとプロセスが保証されます。LL 250はまた、動作中に非常に低いノイズレベルを提供します。これは、クリーンルーム操作や敏感な電子部品を備えたデバイスでの使用に重要です。また、ノイズレベルをさらに低減するためのオプションのアクセサリーも含まれています。全体的に、Microetch LL250は、優れた表面仕上げでナノ構造を達成するのに最適な汎用性の高い高性能イオンミリングツールです。幅広い機能、機能、性能により、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、MEMS業界のナノ構造表面の生産に最適です。
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