中古 TRION Sirus T2 #9235359 を販売中

TRION Sirus T2
ID: 9235359
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Tabletop RIE system, 12" 2009 vintage.
TRION Sirus T2は、さまざまな分野で正確で正確で信頼性の高い結果を生み出すように設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。幅広いエッチング/アッシャーやガスでの動作が可能です。エッチング速度を正確に制御し、ドリフトや領域の変化を伴わない高品質なジオメトリを作成します。Sirus T2は、温度、タイマー、およびプロセスパラメータ設定用のデジタルマイクロプロセッサ制御システムを搭載しており、エッチングおよびアッシングプロセスを正確に制御し、再現性と安定性を実現します。さらに、O2、 Ar、 N2、または他の化学ガスを含むエッチングおよびアッシングプロセス用の幅広い化学物質をサポートすることができます。TRION Sirus T2は、高解像度ビジョンシステムを搭載し、2つのウェハレベルのアライメントシステムを備えています。これにより、各ウェーハをプロセスチャンバーに正確にアライメントでき、エッチングチップの正確な位置決めが可能になります。エッチングのヒントは、最適なエッチプロファイルを提供するように設計された特別なヒントです。これらのヒントは、ウェーハチップに均一なエッチングとアッシングを提供するために協力し、正確かつ正確な結果をもたらします。Sirus T2は、プロセスチャンバーの換気や圧力監視、ES2に準拠した船舶やシステムなど、いくつかの安全機能を提供しています。また、温度を監視および制御し、プロセスのフィードバックを提供して、最適なエッチングとアッシングの結果と可能な限り最高品質を保証することができます。このデバイスには高度なソフトウェア機能も搭載されており、ユーザーは使用するエッチング速度、サイクル数、時間、ガスの種類をカスタマイズできます。さらに、このソフトウェアは、レシピ管理やコンセプトレベルのライブラリなど、さまざまなハイレベルな機能を提供しており、ユーザーは新しいレシピをすばやく開発して学習することができます。TRION Sirus T2は精密、正確さおよび信頼性のために設計され、実験室、大学、研究開発および生産設備の使用のために完全です。柔軟性、拡張性、信頼性を提供し、最も困難なエッチングとアッシングのタスクを実行できます。高度な機能を備えたこのエッチャー/アッシャーは、優れた性能、精度、信頼性を提供します。
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